一种x光柔性闪烁屏制造技术

技术编号:25813401 阅读:23 留言:0更新日期:2020-09-29 18:50
本实用新型专利技术公开了一种x光柔性闪烁屏,包括柔性基体,柔性基体一面覆盖闪烁体层,柔性基体和闪烁体层外表面覆盖防水保护膜,柔性基体与闪烁体层接触的一面为磨砂面;柔性基体与闪烁体层接触的一面为磨砂面,在作柔性闪烁屏基板的同时,又可兼具光散射膜的功能,减少了一层反射膜的贴敷,使得柔性闪烁屏的厚度降低,进而增大了闪烁屏的柔性和可弯曲性,可将其贴敷到任意大小、曲面形态的图像传感器表面;同时柔性基板的光散射有利于提高柔性闪烁屏的光学分辨率;本实用新型专利技术x光柔性闪烁屏还具有结构简单、防水性好的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种x光柔性闪烁屏
本技术属于x光闪烁屏
,具体涉及一种x光柔性闪烁屏。
技术介绍
X射线探测器一般包括TFT图像传感器、闪烁体屏和驱动电路等,目前使用最多的闪烁体屏材料为碘化铯,传统碘化铯闪烁体屏是在铝基板、非晶碳基板、或光纤面板等硬基板上蒸镀碘化铯闪烁体薄膜,其基体一般为不可挠曲的硬基板,不变性,容易蒸镀,但也限制了在一些特殊场合的应用,如探测器是柔性探测器,或探测器表面为曲面形态,相应的闪烁体也需要采用可弯曲的柔性闪烁屏,CN201710815754.6专利技术专利公开了一种柔性闪烁屏,这种柔性闪烁屏的特征是:先提供一硬基板,在硬基板的一面形成离型层,然后将柔性基底层通过涂覆或固化的工艺制作在离型层上,在柔性基底层表面制备闪烁体层,在闪烁体层表面以及闪烁体层周围的柔性基底层上制备保护层,剥离得到柔性屏时需要在硬基板的另一面进行激光照射,使激光照射至离型层与柔性基底层的界面,烧断所述界面处的结合键,小心剥离获得柔性闪烁屏,剥离得到的柔性屏表面较为粗糙,往传感器表面贴敷较为困难;其防水保护层是通过密封胶固定于柔性基地层上的,而密封胶在一些高温高湿环境下可靠性并不理想,且柔性差,不利于贴敷在图像传感器表面。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种x光柔性闪烁屏,能够降低柔性闪烁屏的厚度,进而增大闪烁屏的柔性和可弯曲性。本技术采用的技术方案是,一种x光柔性闪烁屏,包括柔性基体,柔性基体一面覆盖闪烁体层,柔性基体和闪烁体层外表面覆盖防水保护膜,柔性基体与闪烁体层接触的一面为磨砂面。本技术的特点还在于:闪烁体层为掺铊碘化铯或者掺钠碘化铯中的一种。防水保护膜为派瑞林C层。柔性基体为白色不透明状。柔性基体采用的材料是聚对苯二甲酸乙二醇酯。防水保护膜厚度为10~20μm。本技术有益效果是:本技术一种x光柔性闪烁屏,柔性基体与闪烁体层接触的一面为磨砂面,在作柔性闪烁屏基板的同时,又可兼具光散射膜的功能,减少了一层反射膜的贴敷,使得柔性闪烁屏的厚度降低,进而增大了闪烁屏的柔性和可弯曲性,可将其贴敷到任意大小、曲面形态的图像传感器表面;同时柔性基板的光散射有利于提高柔性闪烁屏的光学分辨率;本技术x光柔性闪烁屏还具有结构简单、防水性好的特点。附图说明图1为本技术中一种x光柔性闪烁屏结构示意图;图2为本技术中一种x光柔性闪烁屏制备时与模具位置结构示意图。图中,1.柔性基体,2.闪烁体层,3.防水保护膜,4.模具。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术进行详细说明。本技术一种x光柔性闪烁屏,如图1所示,包括柔性基体1,柔性基体1一面覆盖闪烁体层2,柔性基体1和闪烁体层2外表面覆盖防水保护膜3,保护层完全覆盖无针孔缺陷,防水性能更优越,柔性基体1为聚对苯二甲酸乙二醇酯,为白色不透明状即透光度为0%,柔性基体1与闪烁体层2接触的一面为磨砂面,作柔性闪烁屏基板的同时,又可兼具光散射膜的功能,因此减少了一层反射膜的贴敷,使得柔性闪烁屏的厚度降低,进而增大了闪烁屏的柔性和可弯曲性,同时柔性基板1的光散射有利于提高柔性闪烁屏的光学分辨率。闪烁体层2为掺铊碘化铯或者掺钠碘化铯中的一种。防水保护膜3为派瑞林C层,派瑞林C对潮湿和腐蚀性气体有最低的渗透率,可以提供真正的无针孔覆形隔离,实现闪烁屏的全覆盖,相比于密封胶密封,其防水性能更优。防水保护膜3厚度为10~20μm,能够达到85℃/85%RH环境下良好的防水性能,同时兼顾良好的光学性能要求。本技术一种x光柔性闪烁屏的制备方法为:如图2所示,将柔性基板1固定于内表面光滑的模具4内,磨砂面朝下,采用真空蒸镀法将掺铊碘化铯或者掺钠碘化铯中的一种蒸镀在柔性基板1磨砂面上,至厚度为200~800μm形成闪烁体层2,取下模具4将附有闪烁体层2的柔性基板1放入化学气相沉积设备慢速蒸镀,在闪烁体层2上形成由派瑞林C构成的防水保护膜3,即可得到柔性闪烁屏。整个过程中不需要通过激光进行剥离,操作简单,表面干净平整,解决了现有柔性闪烁屏表面较为粗糙、贴敷到传感器表面较为困难的问题,而且基于柔性基板1可任意切割剪裁、可弯曲的特点,可将其贴敷到任意大小、曲面形态的图像传感器表面。通过上述方式,本技术一种x光柔性闪烁屏,其中柔性基体与闪烁体层接触的一面为磨砂面,在作柔性闪烁屏基板的同时,又可兼具光散射膜的功能,减少了一层反射膜的贴敷,使得柔性闪烁屏的厚度降低,进而增大了闪烁屏的柔性和可弯曲性,可将其贴敷到任意大小、曲面形态的图像传感器表面;同时柔性基板的光散射有利于提高柔性闪烁屏的光学分辨率;本技术x光柔性闪烁屏还具有结构简单、防水性好的特点。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种x光柔性闪烁屏,包括柔性基体(1),所述柔性基体(1)一面覆盖闪烁体层(2),所述柔性基体(1)和闪烁体层(2)外表面覆盖防水保护膜(3),其特征在于,所述柔性基体(1)与闪烁体层(2)接触的一面为磨砂面。/n

【技术特征摘要】
1.一种x光柔性闪烁屏,包括柔性基体(1),所述柔性基体(1)一面覆盖闪烁体层(2),所述柔性基体(1)和闪烁体层(2)外表面覆盖防水保护膜(3),其特征在于,所述柔性基体(1)与闪烁体层(2)接触的一面为磨砂面。


2.根据权利要求1所述一种x光柔性闪烁屏,其特征在于,所述闪烁体层(2)为掺铊碘化铯或者掺钠碘化铯中的一种。


3.根据权利要求1所述一种x光柔性闪烁屏...

【专利技术属性】
技术研发人员:段明浩慕银银
申请(专利权)人:西安瀚维光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:陕西;61

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