压电振动器件制造技术

AT切石英晶体片上形成的贯穿孔具有从周边部朝着中心部的通孔(71)倾斜的倾斜面(72)，倾斜面(72)上存在：从通孔(71)朝着贯穿孔的周边部向－Z’方向侧及+X方向侧延伸的第一结晶面(S1)；从通孔(71)朝着贯穿孔的周边部向－Z’方向侧及+X方向侧延伸，并在第一结晶面(S1)的+Z’方向侧及+X方向侧与该第一结晶面接触的第二结晶面(S2)；及在第二结晶面(S2)的+X方向侧与该第二结晶面接触并与AT切石英晶体片的主面接触的第三结晶面(S3)，三个结晶面(S1～S3)与AT切石英晶体片的主面之间形成有补偿面(Sc)，该补偿面阻碍第一棱线(L1)及第二棱线(L2)到达AT切石英晶体片的主面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电振动器件
本专利技术涉及压电振动器件。
技术介绍
近年，各种电子设备朝着工作频率高频化、封装体小型化(特别是低矮化)方向发展。因此，随着高频化、封装体小型化，要求压电振动器件(例如晶体谐振器、晶体振荡器等)也能应对高频化及封装体小型化。这种压电振动器件的壳体由近似长方体的封装体构成。该封装体包括例如由玻璃或石英晶体构成的第一密封构件和第二密封构件、及例如由石英晶体构成并在两个主面上形成有激励电极的压电振动片，第一密封构件与第二密封构件间通过压电振动片而层叠接合。并且，配置在封装体内部(内部空间)的压电振动片的振动部(激励电极)被气密密封(例如，专利文献1)。以下，将这种压电振动器件的层叠形态称为三明治结构。近年，对于三明治结构的压电振动器件也要求进一步小面积化。然而，本专利技术的专利技术人发现，在实现三明治结构的压电振动器件的小面积化、并以AT切石英晶体片构成第一密封构件的情况下，第一密封构件上形成的贯穿孔上容易产生裂缝。在此，图15是表示三明治结构的压电振动器件500的概要结构的截面图。压电振动器件500具备晶体振动片510、第一密封构件520及第二密封构件530，晶体振动片510与第一密封构件520相接合；晶体振动片510与第二密封构件530相接合，从而构成大致长方体的封装体。晶体振动片510具有在两个面上形成有一对激励电极(未图示)的振动部511、包围着该振动部511的外周的外框部512、通过将振动部511与外框部512连结而保持着振动部511的保持部513。即，晶体振动片510是通过将振动部511、外框部512及保持部513形成为一体而构成的。另外，实现了小型化的压电振动器件500中，通常利用贯穿孔550来实现电极、布线的导通。在第一密封构件520上设有贯穿孔550的情况下，该贯穿孔550形成在与晶体振动片510的外框部512重叠的区域。如图16(a)所示，对压电振动器件500进行操作时或在压电振动器件500上安装IC芯片等时，外力F1有可能从上方作用于第一密封构件520的中心部附近(力点P1)。此时，基于杠杆原理，晶体振动片510的外框部512的内周缘部成为支点P2，贯穿孔550的内周缘部成为作用点P3，且在该作用点P3上会产生应力F3。在压电振动器件500进一步小面积化的情况下，如图16(b)所示，外框部512的宽度变窄。这种外框部512的宽度变窄后的压电振动器件500中，基于杠杆原理在贯穿孔550上产生应力F3的情况下，该应力F3可能成为远远大于图16(a)中的应力F3的应力。其理由是，外框部512的宽度变窄后，相对于力点P1与支点P2之间的距离，支点P2与作用点P3之间的距离变小了。如此可见，随着压电振动器件的小面积化(晶体振动片中的外框部的宽度变窄)，贯穿孔的缘部产生的应力增大，从而贯穿孔上容易产生裂缝。【专利文献1】日本特开2010－252051号公报
技术实现思路
鉴于上述情况，本专利技术的目的在于，提供一种能缓和贯穿孔上的应力集中、从而防止裂缝产生的三明治结构的压电振动器件。为了解决上述技术问题，作为本专利技术的第一种形态的压电振动器件中设置有，压电振动片、覆盖所述压电振动片的一个主面侧的第一密封构件、及覆盖所述压电振动片的另一个主面侧的第二密封构件，所述第一密封构件与所述压电振动片相接合；所述第二密封构件与所述压电振动片相接合，从而形成将包含第一激励电极和第二激励电极的所述压电振动片的振动部气密密封的内部空间，该压电振动器件的特征在于：所述压电振动片具有振动部、保持所述振动部的保持部、及包围着所述振动部的外周并保持着所述保持部的外框部，所述第一密封构件由AT切型的石英晶体片构成，所述第一密封构件上设有贯穿孔，该贯穿孔设在所述压电振动片的外框部的内周缘部的+Z’方向侧，在与所述压电振动片接合的接合面的相反侧的主面上，所述贯穿孔具有从周边部朝着中心部的通孔倾斜的倾斜面，所述倾斜面上存在，从所述通孔朝着所述贯穿孔的周边部向－Z’方向侧及+X方向侧延伸的第一结晶面；从所述通孔朝着所述贯穿孔的周边部向－Z’方向侧及+X方向侧延伸，并在所述第一结晶面的+Z’方向侧及+X方向侧与该第一结晶面接触的第二结晶面；及在所述第二结晶面的+X方向侧与该第二结晶面接触，并与所述第一密封构件的主面接触的第三结晶面，在所述三个结晶面与所述第一密封构件的主面之间形成有补偿面，所述补偿面阻碍所述第一结晶面与所述第二结晶面之间的棱线及所述第二结晶面与所述第三结晶面之间的棱线到达第一密封构件的主面。基于上述结构，能缓和三明治结构的压电振动器件中形成的贯穿孔上的应力集中，从而能防止裂缝产生。即，以往的贯穿孔中，贯穿孔的内壁面上出现的两条棱线会到达AT切型的石英晶体片的主面，并在贯穿孔的外周上相交而成为应力集中点，进而成为裂缝产生的起点。对此，具有上述结构的贯穿孔中，由于在该应力集中部位形成有补偿面，所以上述两条棱线无法在贯穿孔的外周缘部相交。其结果，能防止应力集中点产生，从而能防止以该应力集中点为起点的裂缝产生。另外，上述压电振动器件中，较佳为，所述补偿面在所述倾斜面内只与所述三个结晶面接触，不与其它的结晶面接触。基于上述结构，补偿面被形成在所需的最小限度内，从而能防止贯穿孔中形成其它不需要的结晶面。若贯穿孔中不需要的结晶面增加，则会引起导通电阻增大等，因而，通过限制不需要的结晶面的形成，能避免上述情况发生。另外，上述压电振动器件中，较佳为，所述补偿面与第一密封构件的主面之间的交界线的两端的两点间距离在所述贯穿孔的最大直径的5％以上且30％以下。基于上述结构，能使贯穿孔中的补偿面具有适宜的大小。若上述两点间距离的值在贯穿孔的最大直径的5％以下，则补偿面太小，无法获得充分缓和应力集中的效果。相反，若上述两点间距离的值在贯穿孔的最大直径的30％以上，则补偿面太大，不需要的结晶面增加会引起导通电阻增大等。另外，为了解决上述技术问题，作为本专利技术的第二种形态的压电振动器件中设置有，压电振动片、覆盖所述压电振动片的一个主面侧的第一密封构件、及覆盖所述压电振动片的另一个主面侧的第二密封构件，所述第一密封构件与所述压电振动片相接合；所述第二密封构件与所述压电振动片相接合，从而形成将包含第一激励电极和第二激励电极的所述压电振动片的振动部气密密封的内部空间，该压电振动器件的特征在于：所述压电振动片具有振动部、保持所述振动部的保持部、及包围着所述振动部的外周并保持着所述保持部的外框部，所述第一密封构件由AT切型的石英晶体片构成，所述第一密封构件上设有贯穿孔，该贯穿孔设在所述压电振动片的外框部的内周缘部的+Z’方向侧，在与所述压电振动片接合的接合面的相反侧的主面上，所述贯穿孔具有从周边部朝着中心部的通孔倾斜的倾斜面，所述倾斜面内存在的结晶面之间的任何棱线均不在所述贯穿孔的外周上相交。基于上述结构，在三明治结构的压电振动器件中形成的贯穿孔中，结晶面之间的任何棱线都不在贯穿孔的外周上相交。其结果，能防止应力集中点产生，从而能防止以该应力集中点为起点的裂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电振动器件，设置有压电振动片、覆盖所述压电振动片的一个主面侧的第一密封构件、及覆盖所述压电振动片的另一个主面侧的第二密封构件，所述第一密封构件与所述压电振动片相接合；所述第二密封构件与所述压电振动片相接合，从而形成将包含第一激励电极和第二激励电极的所述压电振动片的振动部气密密封的内部空间，其特征在于：/n所述压电振动片具有振动部、保持所述振动部的保持部、及包围着所述振动部的外周并保持着所述保持部的外框部，/n所述第一密封构件由AT切型的石英晶体片构成，/n所述第一密封构件上设有贯穿孔，该贯穿孔设在所述压电振动片的外框部的内周缘部的+Z’方向侧，/n在与所述压电振动片接合的接合面的相反侧的主面上，所述贯穿孔具有从周边部朝着中心部的通孔倾斜的倾斜面，/n所述倾斜面上存在，/n从所述通孔朝着所述贯穿孔的周边部向－Z’方向侧及+X方向侧延伸的第一结晶面；/n从所述通孔朝着所述贯穿孔的周边部向－Z’方向侧及+X方向侧延伸，并在所述第一结晶面的+Z’方向侧及+X方向侧与该第一结晶面接触的第二结晶面；及/n在所述第二结晶面的+X方向侧与该第二结晶面接触，并与所述第一密封构件的主面接触的第三结晶面，/n在所述三个结晶面与所述第一密封构件的主面之间形成有补偿面，所述补偿面阻碍所述第一结晶面与所述第二结晶面之间的棱线及所述第二结晶面与所述第三结晶面之间的棱线到达第一密封构件的主面。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180313 JP 2018-045858;20180313 JP 2018-0458591.一种压电振动器件，设置有压电振动片、覆盖所述压电振动片的一个主面侧的第一密封构件、及覆盖所述压电振动片的另一个主面侧的第二密封构件，所述第一密封构件与所述压电振动片相接合；所述第二密封构件与所述压电振动片相接合，从而形成将包含第一激励电极和第二激励电极的所述压电振动片的振动部气密密封的内部空间，其特征在于：
所述压电振动片具有振动部、保持所述振动部的保持部、及包围着所述振动部的外周并保持着所述保持部的外框部，
所述第一密封构件由AT切型的石英晶体片构成，
所述第一密封构件上设有贯穿孔，该贯穿孔设在所述压电振动片的外框部的内周缘部的+Z’方向侧，
在与所述压电振动片接合的接合面的相反侧的主面上，所述贯穿孔具有从周边部朝着中心部的通孔倾斜的倾斜面，
所述倾斜面上存在，
从所述通孔朝着所述贯穿孔的周边部向－Z’方向侧及+X方向侧延伸的第一结晶面；
从所述通孔朝着所述贯穿孔的周边部向－Z’方向侧及+X方向侧延伸，并在所述第一结晶面的+Z’方向侧及+X方向侧与该第一结晶面接触的第二结晶面；及
在所述第二结晶面的+X方向侧与该第二结晶面接触，并与所述第一密封构件的主面接触的第三结晶面，
在所述三个结晶面与所述第一密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤原宏树，
申请(专利权)人：株式会社大真空，
类型：发明
国别省市：日本;JP