蚀刻剥离试验设备制造技术

本实用新型专利技术公开了蚀刻剥离试验设备，包括设备主体、腐蚀液储槽和鼓泡气槽，设备主体的中间部位固定连接有腐蚀液储槽，设备主体的内部一侧固定连接有腐蚀液储槽，腐蚀液储槽的顶端固定连接有鼓泡气槽，设备主体的底端固定连接有装置底座，设备主体的另一侧顶部嵌入连接有试验观察隔镜，试验观察隔镜体现了该装置的可实时观察性，废液排管体现了该装置的实用性，拉动贴合套对工作人员的手部起到了很好的保护作用，防滑底板很好的体现了蚀刻装置的防滑稳定性，腐蚀液储槽调节装置很好的体现了该装置的可调节性，多方式蚀刻装置很好的实现了多种蚀刻方式的一体化使用，适用于蚀刻设备的使用，在未来具有广泛的发展前景。

【技术实现步骤摘要】
蚀刻剥离试验设备
本实用涉及蚀刻设备
，具体为蚀刻剥离试验设备。
技术介绍
在微电子工业中，湿法刻蚀是通过化学刻蚀液和被刻蚀物质之间的化学反应将被刻蚀物质剥离下来的刻蚀方法，按照蚀刻液与工件的接触方式主要分为喷淋蚀刻、浸泡蚀刻和鼓泡蚀刻等。现有的蚀刻装置大多仅具备简单的浸泡蚀刻功能，无法将集鼓泡蚀刻和喷淋蚀刻于一体，一体化程度不足，且需要根据不同大小的工件配备不同的浸泡槽，较为麻烦，且增加了额外成本，蚀刻装置内装载有大量的腐蚀液，当装置遭受撞击产生晃动会将内部的染料洒出对装置造成污染，稳固性不足。所以，如何设计蚀刻剥离试验设备，成为当前要解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供蚀刻剥离试验设备，以解决上述
技术介绍
中提出的蚀刻剥离试验设备操作一体化程度不足、增加了额外成本和稳固性不足的发生的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：蚀刻剥离试验设备，包括设备主体、腐蚀液储槽和鼓泡气槽，所述设备主体的内部一侧固定连接有腐蚀液储槽，所述腐蚀液储槽的顶端固定连接有鼓泡气槽，所述设备主体的底端固定连接有装置底座，所述设备主体的一侧顶部贯穿连接有工件装入口，所述设备主体的内部底部一侧固定连接有蚀刻浸泡槽，所述蚀刻浸泡槽的内部内侧嵌入连接有工件，所述工件的顶端固定连接有工件咬合件，所述工件咬合件的顶端活动连接有浸入伸缩杆，所述浸入伸缩杆的顶端固定连接有浸泡伸缩控制电机，所述蚀刻浸泡槽的底部一侧活动连接有隔板活动轮，所述隔板活动轮的一侧活动连接有浸泡液控制隔板，所述设备主体的底部活动连接有翻转切换滚轮，所述翻转切换滚轮的底部嵌入连接有鼓泡进气管，所述鼓泡进气管的顶端固定连接有鼓泡孔，所述鼓泡进气管的底部固定连接有喷淋进液管，所述喷淋进液管的底端固定连接有喷淋口，所述蚀刻浸泡槽的一端顶部固定连接有隔板升降套，所述隔板升降套的内部内侧嵌入连接有隔板伸缩柱，所述隔板伸缩柱的一端嵌入连接有伸缩限位螺栓。优选的，所述装置底座的内部顶部贯穿连接有废液排管。优选的，于所述废液排管的底端固定连接有防滑底板。优选的，所述浸泡液控制隔板的一端固定连接有拉动贴合套。优选的，所述设备主体的另一侧顶部嵌入连接有试验观察隔镜。优选的，所述腐蚀液储槽调节装置由蚀刻浸泡槽底部一侧的隔板活动轮，隔板活动轮一侧的浸泡液控制隔板，蚀刻浸泡槽一端顶部的隔板升降套，隔板升降套内部内侧的隔板伸缩柱一端的伸缩限位螺栓共同组合而成。优选的，所述设备主体底部的翻转切换滚轮，翻转切换滚轮底部的鼓泡进气管，鼓泡进气管顶端的鼓泡孔，鼓泡进气管底部的喷淋进液管和喷淋进液管底端的喷淋口共同组合而成多方式蚀刻装置。与现有技术相比，本种技术的有益效果是:1.该种蚀刻剥离试验设备，通过设置腐蚀液储槽调节装置，可手动调节隔板升降套的高度位置，以达到对浸泡槽高度进行调节，调节到符合的位置后将伸缩限位螺栓穿入隔板升降套内的隔板伸缩柱即可，从而很好的完成了对腐蚀液储槽的调节，无需另外配置浸泡槽，很好的体现了该装置的可调节性。2.该种蚀刻剥离试验设备，通过设置多方式蚀刻装置，需要鼓泡蚀刻时，可通过翻转切换滚轮将多方式蚀刻装置的鼓泡蚀刻面切换至正对工件的位置，工作人员通过抽气泵将鼓泡气槽内的鼓泡气体沿鼓泡进气管充入并通过鼓泡孔排出即可，综上，该装置很好的实现了多种蚀刻方式的一体化使用。附图说明图1为本技术的整体示意图；图2为本技术的A处放大示意图；图3为本技术的B处放大示意图；图4为本技术装置底座沿A-A方向的截面示意图。图中：1、设备主体，2、腐蚀液储槽，3、鼓泡气槽，4、装置底座，401、废液排管，402、防滑底板，5、工件装入口，6、试验观察隔镜，7、拉动贴合套，8、蚀刻浸泡槽，9、工件，10、工件咬合件，11、浸入伸缩杆，12、浸泡伸缩控制电机，13、隔板活动轮，14、浸泡液控制隔板，15、翻转切换滚轮，16、鼓泡进气管，17、鼓泡孔，18、喷淋进液管，19、喷淋口，20、隔板升降套，21、隔板伸缩柱，22、伸缩限位螺栓。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：蚀刻剥离试验设备，包括设备主体1、腐蚀液储槽2和鼓泡气槽3，设备主体1的内部一侧固定连接有腐蚀液储槽2，腐蚀液储槽2的顶端固定连接有鼓泡气槽3，设备主体1的底端固定连接有装置底座4，设备主体1的一侧顶部贯穿连接有工件装入口5，设备主体1的内部底部一侧固定连接有蚀刻浸泡槽8，蚀刻浸泡槽8的内部内侧嵌入连接有工件9，工件9的顶端固定连接有工件咬合件10，工件咬合件10的顶端活动连接有浸入伸缩杆11，浸入伸缩杆11的顶端固定连接有浸泡伸缩控制电机12，蚀刻浸泡槽8的底部一侧活动连接有隔板活动轮13，隔板活动轮13的一侧活动连接有浸泡液控制隔板14，设备主体1的底部活动连接有翻转切换滚轮15，翻转切换滚轮15的底部嵌入连接有鼓泡进气管16，鼓泡进气管16的顶端固定连接有鼓泡孔17，鼓泡进气管16的底部固定连接有喷淋进液管18，喷淋进液管18的底端固定连接有喷淋口19，蚀刻浸泡槽8的一端顶部固定连接有隔板升降套20，隔板升降套20的内部内侧嵌入连接有隔板伸缩柱21，隔板伸缩柱21的一端嵌入连接有伸缩限位螺栓22。优选的，装置底座4的内部顶部贯穿连接有废液排管401，在浸泡蚀刻的过程中，从浸泡槽内溢出的蚀刻液沉积在装置底部无法进行很好的排散，容易对装置外壳造成腐蚀破坏，通过设置废液排管401，当发生不慎溢出的情况，由多根光滑导管组成的废液排管401能够很好的将内部的废液导出，从而很好的体现了该装置的实用性。废液排管401的底端固定连接有防滑底板402，由于蚀刻装置内装载有大量的腐蚀液，当装置遭受撞击产生晃动会将内部的染料洒出对装置造成污染，通过设置防滑底板402，防滑底板402底部为凹凸小块组成，与地面咬合面积更大，很好的提高了装置的抓地力，很好的体现了蚀刻装置的防滑稳定性。优选的，浸泡液控制隔板14的一端固定连接有拉动贴合套7，由于该装置的储液槽可通过拉动调节，由于储液槽储存质量较重，工作人员进行拉动调节时较为不便，通过设置拉动贴合套7，拉动贴合套7为很好的柔性贴合材料，能够很好的减轻重物拉动时对工作人员手部的压迫力，从而对工作人员的手部起到了很好的保护作用。优选的，设备主体1的另一侧顶部嵌入连接有试验观察隔镜6，由于蚀刻为封闭结构，工作人员无法实时的对内部的蚀刻状况进行很好的判断，通过设置试验观察隔镜6，试验观察隔镜6为很好的可视密闭玻璃，在保证装置的封闭的同时很好的方便了工作人员对内部的蚀刻状况进行实时的观察，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.蚀刻剥离试验设备，包括设备主体(1)、腐蚀液储槽(2)和鼓泡气槽(3)，其特征在于：所述设备主体(1)的内部一侧固定连接有腐蚀液储槽(2)，所述腐蚀液储槽(2)的顶端固定连接有鼓泡气槽(3)，所述设备主体(1)的底端固定连接有装置底座(4)，所述设备主体(1)的一侧顶部贯穿连接有工件装入口(5)，所述设备主体(1)的内部底部一侧固定连接有蚀刻浸泡槽(8)，所述蚀刻浸泡槽(8)的内部内侧嵌入连接有工件(9)，所述工件(9)的顶端固定连接有工件咬合件(10)，所述工件咬合件(10)的顶端活动连接有浸入伸缩杆(11)，所述浸入伸缩杆(11)的顶端固定连接有浸泡伸缩控制电机(12)，所述蚀刻浸泡槽(8)的底部一侧活动连接有隔板活动轮(13)，所述隔板活动轮(13)的一侧活动连接有浸泡液控制隔板(14)，所述设备主体(1)的底部活动连接有翻转切换滚轮(15)，所述翻转切换滚轮(15)的底部嵌入连接有鼓泡进气管(16)，所述鼓泡进气管(16)的顶端固定连接有鼓泡孔(17)，所述鼓泡进气管(16)的底部固定连接有喷淋进液管(18)，所述喷淋进液管(18)的底端固定连接有喷淋口(19)，所述蚀刻浸泡槽(8)的一端顶部固定连接有隔板升降套(20)，所述隔板升降套(20)的内部内侧嵌入连接有隔板伸缩柱(21)，所述隔板伸缩柱(21)的一端嵌入连接有伸缩限位螺栓(22)。/n...

【技术特征摘要】
1.蚀刻剥离试验设备，包括设备主体(1)、腐蚀液储槽(2)和鼓泡气槽(3)，其特征在于：所述设备主体(1)的内部一侧固定连接有腐蚀液储槽(2)，所述腐蚀液储槽(2)的顶端固定连接有鼓泡气槽(3)，所述设备主体(1)的底端固定连接有装置底座(4)，所述设备主体(1)的一侧顶部贯穿连接有工件装入口(5)，所述设备主体(1)的内部底部一侧固定连接有蚀刻浸泡槽(8)，所述蚀刻浸泡槽(8)的内部内侧嵌入连接有工件(9)，所述工件(9)的顶端固定连接有工件咬合件(10)，所述工件咬合件(10)的顶端活动连接有浸入伸缩杆(11)，所述浸入伸缩杆(11)的顶端固定连接有浸泡伸缩控制电机(12)，所述蚀刻浸泡槽(8)的底部一侧活动连接有隔板活动轮(13)，所述隔板活动轮(13)的一侧活动连接有浸泡液控制隔板(14)，所述设备主体(1)的底部活动连接有翻转切换滚轮(15)，所述翻转切换滚轮(15)的底部嵌入连接有鼓泡进气管(16)，所述鼓泡进气管(16)的顶端固定连接有鼓泡孔(17)，所述鼓泡进气管(16)的底部固定连接有喷淋进液管(18)，所述喷淋进液管(18)的底端固定连接有喷淋口(19)，所述蚀刻浸泡槽(8)的一端顶部固定连接有隔板升降套(20)，所述隔板升降套(20)的内部内侧嵌入连接有隔板伸缩柱(21)，所述隔板伸缩柱(21)的一端嵌入连接有伸缩限位螺栓(22)。

【专利技术属性】
技术研发人员：梁小朝，连杰，姚浩川，黄德新，
申请(专利权)人：合肥中聚合臣电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34