晶圆收纳盒及晶圆组件制造技术

本申请提供一种晶圆收纳盒及晶圆组件，涉及晶圆收纳领域。晶圆收纳盒包括可开合设置的盒体以及调节件，其中盒体内设有用于容置晶圆的第一容纳槽；调节件用于安装于第一容纳槽内并形成第二容纳槽以容置不同尺寸的晶圆，其结构简单且操作方便，能够满足在一个晶圆收纳盒内进行多尺寸晶圆的收纳需求，同时无需针对晶圆的尺寸差异而采用不同的晶圆收纳盒，通用性强。

【技术实现步骤摘要】
晶圆收纳盒及晶圆组件
本申请涉及晶圆收纳领域，具体而言，涉及一种晶圆收纳盒及晶圆组件。
技术介绍
晶圆的制造需经过表面氧化、气相沉积、涂膜、曝光显影及蚀刻等众多工艺流程，各道工序之间通过收纳运送，以完成生产。由于晶圆产品的精密度高且硬脆易破坏，对收纳装置提出了易对位、易收取、防灰尘、耐冲击等要求。现有的晶圆一般按照尺寸的不同分别进行独立地包装，不同尺寸的晶圆需要特定的盒体进行包装，现有的盒体无法满足多尺寸晶圆的收纳要求。
技术实现思路
本申请实施例的目的在于提供一种晶圆收纳盒及晶圆组件，其结构简单且操作方便能够满足在一个晶圆收纳盒内进行多尺寸晶圆的收纳需求，同时无需针对晶圆的尺寸差异而采用不同的晶圆收纳盒，通用性强。第一方面，本申请实施例提供一种晶圆收纳盒，其包括可开合设置的盒体以及调节件，其中盒体内设有用于容置晶圆的第一容纳槽；调节件用于安装于第一容纳槽内并形成第二容纳槽以容置不同尺寸的晶圆。在上述实现过程中，若晶圆的尺寸与第一容纳槽匹配，可将晶圆直接安装在第一容纳槽中，若当晶圆的尺寸与第一容纳槽不本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆收纳盒，其特征在于，包括：/n可开合设置的盒体，所述盒体内设有用于容置晶圆的第一容纳槽；以及/n调节件，用于安装于所述第一容纳槽内并形成第二容纳槽以容置不同尺寸的晶圆。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆收纳盒，其特征在于，包括：
可开合设置的盒体，所述盒体内设有用于容置晶圆的第一容纳槽；以及
调节件，用于安装于所述第一容纳槽内并形成第二容纳槽以容置不同尺寸的晶圆。


2.根据权利要求1所述的晶圆收纳盒，其特征在于，所述盒体具有容纳腔，所述容纳腔的内壁设有多个间隔布置的第一容纳槽，所述调节件的至少部分位于所述第一容纳槽内并形成第二容纳槽。


3.根据权利要求2所述的晶圆收纳盒，其特征在于，所述容纳腔的内壁设有多个间隔布置的第一限位齿，任意相邻的两个所述第一限位齿之间形成第一容纳槽，所述调节件的部分可选择性嵌设于所述第一容纳槽内且另一部分伸出所述第一限位齿的形成第二限位齿，任意相邻的两个所述第二限位齿之间形成所述第二容纳槽。


4.根据权利要求1-3任意一项所述的晶圆收纳盒，其特征在于，所述第一容纳槽、所述第二容纳槽分...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宏建，赵卫，朱建海，沈旋，何自坚，申漫漫，
申请(专利权)人：松山湖材料实验室，
类型：发明
国别省市：广东;44