下载晶圆收纳盒及晶圆组件的技术资料

文档序号:25759946

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本申请提供一种晶圆收纳盒及晶圆组件,涉及晶圆收纳领域。晶圆收纳盒包括可开合设置的盒体以及调节件,其中盒体内设有用于容置晶圆的第一容纳槽;调节件用于安装于第一容纳槽内并形成第二容纳槽以容置不同尺寸的晶圆,其结构简单且操作方便,能够满足在一个晶...
该专利属于松山湖材料实验室所有,仅供学习研究参考,未经过松山湖材料实验室授权不得商用。

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