一种器件固定装置及半导体激光器测试设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种器件固定装置及半导体激光器测试设备，所述装置包括基座，基座的顶部设有若干吸附孔，每个吸附孔均通过各自的真空气道与真空泵连通，所述装置还包括：若干感触部件，设置于基座的顶部，且每一吸附孔所在位置处对应设置一感触部件；以及若干气道开关组件，设置于基座内，且每个气道开关组件各控制一个真空气道的通断，气道开关组件与对应的感触部件联动。本发明专利技术实现了只有器件压盖的区域会产生吸力而非压盖区域不产生吸力，从而提高器件两侧的压差，以达到有效增大固定压力的目的，从而稳定地固定器件。

【技术实现步骤摘要】
一种器件固定装置及半导体激光器测试设备
本专利技术涉及半导体激光器测试
，特别涉及一种器件固定装置及半导体激光器测试设备。
技术介绍
目前常用的半导体激光器测试设备在测试前均需要将待测的半导体激光器芯片或巴条放置于散热平台的器件固定装置上，然后通过真空吸附的方式进行固定，然后完成必要的测试工作。但是受制于半导体激光器芯片或巴条尺寸规格的多样化，器件固定装置上的真空吸附孔隙通常为简单的金属孔洞或孔隙，且在使用前已经加工定型，无法匹配所有类型激光器尺寸，并被其完全覆盖。因此该常规类型半导体激光器芯片或巴条的固定装置常常因为芯片或巴条未覆盖所有吸附孔而导致两侧（面向固定装置一侧和背向固定装置一侧）压差过低，进而导致固定压力不足，芯片或巴条容易受外力作用移动，最终导致无法实现稳定的固定。
技术实现思路
基于此，本专利技术的目的是提供一种器件固定装置及半导体激光器测试设备，以解决现有技术当中的器件固定装置无法稳定地固定器件的技术问题。本专利技术实施例提供一种器件固定装置，包括基座，所述基座的顶部设有若干吸附孔，每个所述吸附孔均通过各自的真空气道与真空泵连通，所述真空气道置于所述基座内，所述器件固定装置还包括：若干感触部件，设置于所述基座的顶部，且每一所述吸附孔所在位置处对应设置一所述感触部件，以当器件置于所述基座顶部时，所述器件触动被其压迫的所述感触部件；以及若干气道开关组件，设置于所述基座内，且每个所述气道开关组件各控制一个所述真空气道的通断，所述气道开关组件与对应的所述感触部件联动，以在所述器件触动所述感触部件时，被触动的所述感触部件对应的所述气道开关组件打开其所控制的所述真空气道，以使被所述器件压迫的所述感触部件对应的所述吸附孔连通所述真空泵，以吸附所述器件。进一步地，所述感触部件为置于所述吸附孔中的伸缩杆，所述伸缩杆的底端通过第一复位弹簧连接所述基座，以使所述伸缩杆在未被压迫时突出于所述基座的顶部；所述气道开关组件包括活动块，所述活动块滑动置于所述吸附孔内，并与所述吸附孔的内壁密封接触，以将所述吸附孔分隔为上腔室和下腔室，所述伸缩杆固定于所述活动块上；所述伸缩杆在未被压迫时，所述活动块堵住所述真空气道，所述伸缩杆被压迫时，所述活动块下移至打开所述真空气道，所述上腔室和所述下腔室连通所述真空气道。进一步地，每一所述真空气道对应配置有一大气气道，所述活动块上设有连通气道，所述伸缩杆在未被压迫时，所述下腔室通过所述连通气道与所述大气气道连通，当所述伸缩杆被压迫时，所述下腔室通过所述连通气道连通所述真空气道。进一步地，所述气道开关组件还包括密封环，所述密封环套设于所述活动块外壁上，并与所述吸附孔的内壁密封接触。进一步地，所述大气气道上设有上充气口和下充气口，所述下充气口连通所述下腔室，所述伸缩杆在未被压迫时，所述下腔室通过所述连通气道与所述上充气口连通。进一步地，所述真空气道上设有上抽气口和下抽气口，当所述伸缩杆被压迫时，所述上腔室连通所述上抽气口，所述下腔室通过所述连通气道连通所述下抽气口。进一步地，所述真空气道上设有第一气道阀门，所述下充气口上设有第二气道阀门。进一步地，所述感触部件为设于所述吸附孔一侧的压电传感器，所述气道开关组件包括：密封分隔所述吸附孔和所述真空气道的活塞、驱动所述活塞移动的驱动组件、以及与所述压电传感器和所述驱动组件电性连接的控制器件；所述活塞上设有连通孔，当所述压电传感器被压迫时，所述控制器件控制所述驱动组件，以使所述驱动组件将所述活塞移至使所述吸附孔通过所述连通孔与所述真空气道连通。进一步地，所述驱动组件包括由所述控制器件电控的电磁铁、设置于所述活塞上并与所述电磁铁相对设置的永磁体、以及驱使所述活塞复位的第二复位弹簧。本专利技术实施例另一方面还提出一种包括器件抓取装置以及真空泵，还包括上述的器件固定装置，所述器件抓取装置用于抓取器件至所述器件固定装置上，所述真空泵连接所述器件固定装置的真空气道，以产生真空来将所述器件吸附固定于所述器件固定装置上。本专利技术的有益效果：通过在每一吸附孔所在位置处对应设置一感触部件，并给每个气道配置一气道开关组件，气道开关组件与感触部件联动，使得只有被器件压盖的吸附孔的真空气道才会被打开，从而使被器件压盖的吸附孔产生吸力以吸附器件，而未被器件压盖的吸附孔的气道则被对应的气道开关组件阻止打开，即只有器件压盖的区域会产生吸力而非压盖区域不产生吸力，从而提高器件两侧的压差，以达到有效增大固定压力的目的，从而稳定地固定器件。附图说明图1为本专利技术第一实施例中的器件固定装置的立体结构示意图；图2为本专利技术第一实施例中的器件固定装置在感触部件（伸缩杆）未被压迫时的结构示意图；图3为本专利技术第一实施例中的器件固定装置在感触部件（伸缩杆）被压迫时的结构示意图；图4为本专利技术第二实施例中的器件固定装置的立体结构示意图；图5为图4当中I处的放大图；图6为本专利技术第二实施例中的器件固定装置在感触部件（压电传感器）未被压迫时的结构示意图；图7为本专利技术第二实施例中的器件固定装置在感触部件（压电传感器）被压迫时的结构示意图。主要元件符号说明：器件固定装置100；基座10；气道开关组件30；吸附孔11；真空气道12；器件200；伸缩杆21；第一复位弹簧211；活动块31；密封环32；上腔室111；下腔室112；连通气道311；大气气道13；第一气道阀门123；上充气口131；下充气口132；第二气道阀门133；上抽气口121；下抽气口122；器件抓取装置300；压电传感器22；安装孔14；活塞33；驱动组件34；控制器件35；连通孔331；容纳腔15；密封圈16；电磁铁341；永磁体342；第二复位弹簧343。如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本专利技术。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的若干实施例。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。实施例一请参阅图1-图3，所示为本专利技术第一实施例中的器件固定装置100，包括基座10、设置于基座10顶部的若干感触部件、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种器件固定装置，包括基座，所述基座的顶部设有若干吸附孔，每个所述吸附孔均通过各自的真空气道与真空泵连通，所述真空气道置于所述基座内，其特征在于，所述器件固定装置还包括：/n若干感触部件，设置于所述基座的顶部，且每一所述吸附孔所在位置处对应设置一所述感触部件，以当器件置于所述基座顶部时，所述器件触动被其压迫的所述感触部件；以及/n若干气道开关组件，设置于所述基座内，且每个所述气道开关组件各控制一个所述真空气道的通断，所述气道开关组件与对应的所述感触部件联动，以在所述器件触动所述感触部件时，被触动的所述感触部件对应的所述气道开关组件打开其所控制的所述真空气道，以使被所述器件压迫的所述感触部件对应的所述吸附孔连通所述真空泵，以吸附所述器件。/n

【技术特征摘要】
1.一种器件固定装置，包括基座，所述基座的顶部设有若干吸附孔，每个所述吸附孔均通过各自的真空气道与真空泵连通，所述真空气道置于所述基座内，其特征在于，所述器件固定装置还包括：
若干感触部件，设置于所述基座的顶部，且每一所述吸附孔所在位置处对应设置一所述感触部件，以当器件置于所述基座顶部时，所述器件触动被其压迫的所述感触部件；以及
若干气道开关组件，设置于所述基座内，且每个所述气道开关组件各控制一个所述真空气道的通断，所述气道开关组件与对应的所述感触部件联动，以在所述器件触动所述感触部件时，被触动的所述感触部件对应的所述气道开关组件打开其所控制的所述真空气道，以使被所述器件压迫的所述感触部件对应的所述吸附孔连通所述真空泵，以吸附所述器件。


2.根据权利要求1所述的器件固定装置，其特征在于，所述感触部件为置于所述吸附孔中的伸缩杆，所述伸缩杆的底端通过第一复位弹簧连接所述基座，以使所述伸缩杆在未被压迫时突出于所述基座的顶部；
所述气道开关组件包括活动块，所述活动块滑动置于所述吸附孔内，并与所述吸附孔的内壁密封接触，以将所述吸附孔分隔为上腔室和下腔室，所述伸缩杆固定于所述活动块上；
所述伸缩杆在未被压迫时，所述活动块堵住所述真空气道，所述伸缩杆被压迫时，所述活动块下移至打开所述真空气道，所述上腔室和所述下腔室连通所述真空气道。


3.根据权利要求2所述的器件固定装置，其特征在于，每一所述真空气道对应配置有一大气气道，所述活动块上设有连通气道，所述伸缩杆在未被压迫时，所述下腔室通过所述连通气道与所述大气气道连通，当所述伸缩杆被压迫时，所述下腔室通过所述连通气道连通所述真空气道。


4.根据权利要求3所述的器件固定装置，其特征在于，所述气道开关组件...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋锴，李春勇，舒凯，仇伯仓，柯毛龙，徐化勇，冯欧，
申请(专利权)人：江西铭德半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江西;36