【技术实现步骤摘要】
一种基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂
本专利技术属于真空
，具体涉及一种基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂。
技术介绍
吸气剂作为获得高真空的重要手段之一，在高能粒子加速器、电真空器件、真空技术、高精密测试装置、高精密器件、原子能工业等科研与生产中都起着至关重要的作用。同时，真空材料表面二次电子的发射会影响电真空器件等的工作性能。目前的吸气剂激活温度一般在140℃以上，使用范围受到限制。比如当衬底为铝合金时，在140℃以上的高温下激活时易导致铝合金衬底产生形变，从而对系统整体的结构稳定性造成影响。因此，如何获得低二次电子产额和低激活温度的吸气剂材料成为一个关键问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供了一种基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂，能够降低材料表面的二次电子产额，同时该吸气剂薄膜具有更低的激活温度。为达到上述目的，本专利技术所述的基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂包括泡沫金属衬底以及设置于泡沫金属衬底的吸气剂层，其中，吸气剂层为TiZrVHfY薄膜层或...
【技术保护点】
1.一种基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂，其特征在于，包括泡沫金属衬底以及设置于泡沫金属衬底的吸气剂层，其中，吸气剂层为TiZrVHfY薄膜层或者TiZrVHfTa薄膜层。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂，其特征在于，包括泡沫金属衬底以及设置于泡沫金属衬底的吸气剂层，其中，吸气剂层为TiZrVHfY薄膜层或者TiZrVHfTa薄膜层。
2.根据权利要求1所述的基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂，其特征在于，在真空状态下，吸气剂层在100℃的高温下持续加热2小时以上，吸气剂层表面的金属氧化物逐渐转化为金属态，实现吸气剂层的逐步激活，被激活的吸气剂层能够吸附真空室内的残余气体，提高...
【专利技术属性】
技术研发人员：王洁，王盛，张静，高勇，胡耀程，许章炼，吴岳，周浩宇，范佳锟，游志明，王斌，聂昆仑，罗昊，杜鑫，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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