下载一种基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂的技术资料

文档序号:25749230

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本发明公开了一种基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂,包括泡沫金属衬底以及设置于泡沫金属衬底的吸气剂层,其中,吸气剂层为TiZrVHfY薄膜层或者TiZrVHfTa薄膜层,该吸气剂具有更好低的激活温度、更低的二次电子产额和轻便紧凑的特点。...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。

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