一种碳化硅涂层用高效沉积炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅涂层用高效沉积炉，包括炉壳以及炉壳内壁开设的内隔热层，所述炉壳内腔设置有托盘，所述炉壳底部开设有发热体，所述炉壳顶端开设有上隔热腔，且上隔热腔内部固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出轴处固定连接有中心转杆，且中心转杆侧表壁与托盘固定连接，所述炉壳内腔开设有隔板，且隔板上开设有第二开口，所述第二开口与托盘间隙配合，所述炉壳外侧侧表壁上开设有开口法兰。本实用新型专利技术中，采用了三腔隔离结构，实现了三个隔板隔出的三个腔体互相隔离互不干扰，采用了转盘式换料结构，实现了三组托盘上的物料便于快速的更换，同时实现了减少其余两个腔体完全打开时对于温度的损失。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅涂层用高效沉积炉
本技术涉及碳化硅涂层设备
，尤其涉及一种碳化硅涂层用高效沉积炉。
技术介绍
碳化硅具有优异的物理化学性能，如高熔点、高硬度、耐腐蚀、抗氧化等，特别是在1800-2000℃范围，具有良好的抗烧蚀性能，因此，在航空航天、兵器装备等领域具有广阔的应用前景，但碳化硅本身不能作为结构材料使用，所以通常采用制备涂层的方法，以利用其耐磨性以及抗烧蚀性。现有技术中申请号为CN201520542351.5的技术专利公开了一种分段式石墨碳化硅涂层用气相沉积炉，包括圆通状的炉体，所述炉体的两端分别配设有炉盖，所述炉体内部的底部设有滑轨，所述滑轨上设置有能够在滑轨上移动并且用于放置石墨的滑座，所述炉体内经可开闭的密封门分为反应段和预冷段，然而该装置在实际使用过程中仍然存在着开炉后难以快速的对于滑座中的产品进行更换并重新进行加工，使得炉体的使用效率较低的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于：为了解决现有技术中炉体更换产品效率较低的问题，而提出的一种碳化硅涂层用高效沉积炉。为了实现上述目的，本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳化硅涂层用高效沉积炉，包括炉壳(3)以及炉壳(3)内壁开设的内隔热层(4)，所述炉壳(3)内腔设置有托盘(7)，所述炉壳(3)底部开设有发热体(6)，其特征在于，所述炉壳(3)顶端开设有上隔热腔(1)，且上隔热腔(1)内部固定连接有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)输出轴处固定连接有中心转杆(5)，且中心转杆(5)侧表壁与托盘(7)固定连接，所述炉壳(3)内腔开设有隔板(10)，且隔板(10)上开设有第二开口(14)，所述第二开口(14)与托盘(7)间隙配合，所述炉壳(3)外侧侧表壁上开设有开口法兰(9)，所述隔板(10)共设置有三个，且三个隔板(10)中两两之间的夹角均为120°，...

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅涂层用高效沉积炉，包括炉壳(3)以及炉壳(3)内壁开设的内隔热层(4)，所述炉壳(3)内腔设置有托盘(7)，所述炉壳(3)底部开设有发热体(6)，其特征在于，所述炉壳(3)顶端开设有上隔热腔(1)，且上隔热腔(1)内部固定连接有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)输出轴处固定连接有中心转杆(5)，且中心转杆(5)侧表壁与托盘(7)固定连接，所述炉壳(3)内腔开设有隔板(10)，且隔板(10)上开设有第二开口(14)，所述第二开口(14)与托盘(7)间隙配合，所述炉壳(3)外侧侧表壁上开设有开口法兰(9)，所述隔板(10)共设置有三个，且三个隔板(10)中两两之间的夹角均为120°，所述三个隔板(10)中心处均与中心转杆(5)外表壁互相贴合密封，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓峰，黄子丹，
申请(专利权)人：昊石新材料科技南通有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32