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本实用新型公开了一种碳化硅涂层用高效沉积炉，包括炉壳以及炉壳内壁开设的内隔热层，所述炉壳内腔设置有托盘，所述炉壳底部开设有发热体，所述炉壳顶端开设有上隔热腔，且上隔热腔内部固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出轴处固定连接有中心转杆，且中心转...
该专利属于昊石新材料科技南通有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昊石新材料科技南通有限公司授权不得商用。

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