扫描式激光直接成像的同步方法技术

本发明专利技术公开了一种扫描式激光直接成像的同步方法，确定扫描运动机构的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据，在启动曝光后，以扫描运动机构的每个步进为一个补偿周期，在该步骤周期内根据所述扫描运动机构所处位置对应的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据进行位置补偿计算获得误差值，根据累计误差值与输出脉冲范围的大小关系确定成像机构的成像时刻。本发明专利技术将多种影响因素添加至计算模块中，且每个曝光条带对应的误差数据即为真实的误差数据，运算更合理，结果更准确；能够将每个曝光条带整体误差控制在一个运动机构输出脉冲范围内。

【技术实现步骤摘要】
扫描式激光直接成像的同步方法
本专利技术属于智能设备
，具体涉及一种扫描式激光直接成像的同步方法。
技术介绍
激光直接成像系统(LDI)扫描过程中，需在特定的位置显示特定的图像，一旦位置计算有偏差，则会造成图像错位，因此需对扫描运动机构与成像机构作同步处理；现有的方法均为扫描运动行程共用一组补偿数据，这样会造成位置补偿计算的不精确，进而影响到成像的位置，对于高速、高精密设备的影响更大。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种扫描式激光直接成像的同步方法。为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：本专利技术实施例提供一种扫描式激光直接成像的同步方法，该方法为：确定扫描运动机构的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据，在启动曝光后，以扫描运动机构的每个步进为一个补偿周期，在该步骤周期内根据所述扫描运动机构所处位置对应的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据进行位置补偿计算获得误差值，根据累计误差值与输出脉冲范围的大小关系确定成像机构的成像时刻。上述方案中，所述确定扫描运动机构的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描式激光直接成像的同步方法，其特征在于，该方法为：确定扫描运动机构的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据，在启动曝光后，以扫描运动机构的每个步进为一个补偿周期，在该步骤周期内根据所述扫描运动机构所处位置对应的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据进行位置补偿计算获得误差值，根据累计误差值与输出脉冲范围的大小关系确定成像机构的成像时刻。/n

【技术特征摘要】
1.一种扫描式激光直接成像的同步方法，其特征在于，该方法为：确定扫描运动机构的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据，在启动曝光后，以扫描运动机构的每个步进为一个补偿周期，在该步骤周期内根据所述扫描运动机构所处位置对应的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据进行位置补偿计算获得误差值，根据累计误差值与输出脉冲范围的大小关系确定成像机构的成像时刻。


2.根据权利要求1所述的扫描式激光直接成像的同步方法，其特征在于，所述确定扫描运动机构的位置误差数据，具体为：通过激光干涉仪对曝光整个行程进行分段标定，测出每段区间的理论值与实际值的差值，将所述每段区间的理论值与实际值的差值乘以第一放大系数获得N组扫描运动机构的位置误差数据。


3.根据权利要求1或2所述的扫描式激光直接成像的同步方法，其特征在于，所述确定成像机构的倍率误差数据，具体为：标定成像机构的真实倍率，并确定真实倍率和理论设计倍率之间的差值；将所述真实倍率和理论倍率之间的差值乘以第二放大系数获得...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡志国，谢荣先，
申请(专利权)人：苏州微影激光技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32