一种基于CNTs超表面的THz波传感器、制备方法及其用途技术

本发明专利技术公开了一种基于CNTs超表面的THz波传感器，包括衬底，衬底上覆盖有薄膜层，薄膜层上刻蚀有矩形孔阵结构，薄膜层上覆盖有封装层。具有二维周期性对称矩形孔阵结构，结构简单，方便加工；工艺简单，易于实现；用于检测农药残留量，检测方法简单，检测精度高且具有良好的可靠性、稳定性，最低灵敏度为2.0×10

【技术实现步骤摘要】
一种基于CNTs超表面的THz波传感器、制备方法及其用途
本专利技术属于检测器
，涉及一种基于CNTs超表面的THz波传感器，还涉及上述传感器的制备方法，还涉及上述传感器的用途。
技术介绍
当前，农药的过度使用，致使农业产品的农药残留问题日益严重。农产品中残留的农药已对人类健康和生物多样性构成威胁。科学研究表明，果蔬中残留农药在人体内长期蓄积滞留会引起慢性中毒，给人体健康带来潜在威胁，以至诱发许多慢性疾病。目前常用的农药检测方法有免疫分析技术、仪器分析技术和光谱分析技术。免疫分析技术包括酶免疫技术、放射免疫技术和金免疫技术，特异性高，具有较高的反应灵敏度，但存在前期设备投入较大、费用高，检测可能出现假阳性，适用范围有限等缺点。仪器分析技术包括气相色谱法、高效液相色谱法、气相色谱—质谱法和液相色谱—质谱法，其分析能力强，检测范围广，检测结果稳定可靠，灵敏度高，重现性好，已发展成熟并形成一定行业标准，但其设备昂贵，前处理步骤和检测过程繁杂，分析时间较长，特异性不明显，需要专业操作人员辅助才能完成检测，不利于实现农药残留的快速现场检测。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于CNTs超表面的THz波传感器，其特征在于，包括衬底(1)，所述衬底(1)上覆盖有薄膜层(2)，所述薄膜层(2)上刻蚀有矩形孔阵结构(3)，所述薄膜层(2)上覆盖有封装层(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于CNTs超表面的THz波传感器，其特征在于，包括衬底(1)，所述衬底(1)上覆盖有薄膜层(2)，所述薄膜层(2)上刻蚀有矩形孔阵结构(3)，所述薄膜层(2)上覆盖有封装层(4)。


2.一种基于CNTs超表面的THz波传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、在衬底(1)上垂直生长CNTs阵列；
步骤2、在所述CNTs阵列上拉出超有序排列CNTs薄膜；
步骤3、将所述CNTs薄膜转移至衬底(1)上；
步骤4、重复步骤2-3，将多层CNTs薄膜叠加得到薄膜层(2)；
步骤5、在所述薄膜层(2)进行表面平整修饰上压合封装层(4)；
步骤6、在所述封装层(4)上切割窗口；
步骤7、在所述薄膜层(2)上刻蚀矩形孔阵结构(3)，得到THz波传感器。


3.如权利要求2所述的一种基于CN...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玥，张晓菊，崔子健，胡辉，张向，朱永强，
申请(专利权)人：西安理工大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61