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一种基于CNTs超表面的THz波传感器、制备方法及其用途技术
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下载一种基于CNTs超表面的THz波传感器、制备方法及其用途的技术资料
文档序号:25705981
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本发明公开了一种基于CNTs超表面的THz波传感器,包括衬底,衬底上覆盖有薄膜层,薄膜层上刻蚀有矩形孔阵结构,薄膜层上覆盖有封装层。具有二维周期性对称矩形孔阵结构,结构简单,方便加工;工艺简单,易于实现;用于检测农药残留量,检测方法简单,检...
该专利属于西安理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工大学授权不得商用。
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