一种便于安装定位的单晶炉用新型一体锅制造技术

技术编号:25676475 阅读:24 留言:0更新日期:2020-09-18 20:52
本实用新型专利技术公开了一种便于安装定位的单晶炉用新型一体锅,包括提升安装结构、螺纹杆和连接杆,所述提升安装结构的内部安装有石墨坩埚,所述螺纹杆贯穿连接在石墨坩埚的上方内部,且石墨坩埚的外表面固定安装有固定块,所述连接杆焊接在定位杆的下表面,且连接杆通过侧边滑槽与上部夹块相互连接,所述上部夹块通过内部转轴与固定块相互连接,且上部夹块的内侧开设有螺纹孔,所述石墨坩埚的内部预留有内部滑槽,所述石墨坩埚的内部通过涡旋弹簧与下部转轴相互连接。该便于安装定位的单晶炉用新型一体锅,采用新型的结构设计,使得本装置便于将石墨坩埚的安装位置定位,并且可以缓冲石墨坩埚热胀冷缩的变形量,增加石墨坩埚的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种便于安装定位的单晶炉用新型一体锅
本技术涉及单晶炉
,具体为一种便于安装定位的单晶炉用新型一体锅。
技术介绍
单晶炉是用来制造生长无错位单晶的机械设备,将多晶硅原料放置在坩埚中,经过高温熔化后,将籽晶放置进入熔化后的硅体中,再通过提升结构的提升作用消除籽晶与硅体接触后因热应力产生的错位现象,接着控制温度,控制内部硅体逐渐反应生长,冷却后将晶体取出,单晶炉加工过程中,其内部的坩埚结构较为重要,晶体便是随着温度变化在坩埚中反应生长。随着单晶炉一体锅的不断使用,在使用过程中发现了下述问题:1.现有的一些单晶炉一体锅不便于将其安装定位在装置内部,拆卸和安装时操作较为麻烦,并且安装后的结构牢固性较差,不便于后期一体锅在装置内部进行提升。2.且现有的一些单晶炉一体锅在传递高温的过程中,温度传递稳定性较差,并且在温差变化的过程中,锅体本身也受到热胀冷缩的影响,锅体的使用寿命有限。所以需要针对上述问题设计一种便于安装定位的单晶炉用新型一体锅。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种便于安装定位的单晶炉用新型一体锅,以解决上述
技术介绍
中提出现有的一些单晶炉一体锅不便于进行安装定位,且使用寿命有限的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种便于安装定位的单晶炉用新型一体锅,包括提升安装结构、螺纹杆和连接杆,所述提升安装结构的内部安装有石墨坩埚,且石墨坩埚的内部开设有腔体,并且石墨坩埚的下方两侧内部活动连接有下部夹块,所述螺纹杆贯穿连接在石墨坩埚的上方内部,且石墨坩埚的外表面固定安装有固定块,并且固定块通过复位弹簧与定位杆相互连接,所述连接杆焊接在定位杆的下表面,且连接杆通过侧边滑槽与上部夹块相互连接,并且侧边滑槽预留在上部夹块的上端侧面,所述上部夹块通过内部转轴与固定块相互连接,且上部夹块的内侧开设有螺纹孔,所述石墨坩埚的内部预留有内部滑槽,且内部滑槽通过内部弹簧与内部滑块相互连接,并且内部滑块对称焊接在下部夹块的外部两侧,同时下部夹块侧面内部固定安装有麻花杆,所述石墨坩埚的内部通过涡旋弹簧与下部转轴相互连接,且下部转轴的外侧开设有麻花孔。优选的,所述石墨坩埚与提升安装结构组成拆卸安装结构,且石墨坩埚的外部横截面面积等于提升安装结构的内部横截面面积。优选的,所述腔体等间距环绕状在石墨坩埚的内侧面开设有4个,且腔体的内部填充有导热气体。优选的,所述下部夹块通过内部滑块与内部滑槽组成滑动结构,且内部滑块通过内部弹簧与内部滑槽组成弹性结构,并且下部夹块的上下两侧呈圆弧状结构。优选的,所述定位杆与固定块组成伸缩结构,且定位杆通过复位弹簧与固定块弹性连接,并且定位杆通过连接杆和侧边滑槽与上部夹块组成滑动结构,同时定位杆和上部夹块的侧面均呈倾斜状结构。优选的,所述上部夹块通过内部转轴与固定块组成转动结构,且上部夹块通过螺纹孔与螺纹杆螺纹连接,并且螺纹杆与石墨坩埚组成转动结构。优选的,所述麻花杆通过麻花孔与下部转轴组成转动结构,且下部转轴与石墨坩埚转动连接,并且下部转轴通过涡旋弹簧与石墨坩埚组成弹性结构。与现有技术相比,本技术的有益效果是:该便于安装定位的单晶炉用新型一体锅,采用新型的结构设计,使得本装置可以便捷的将该一体锅安装定位在单晶炉的内部,且该装置内部设置有形变调节区域,提高装置的使用寿命;1.转动结构设置的上部夹块,以及滑动结构设置的下部夹块,转动移动定位杆调节上部夹块的位置,螺纹杆转动使得上部夹块的位置夹紧固定,上部夹块将该装置的上端位置定位,同时将石墨坩埚安装进入提升安装结构的内部时,下部夹块在推力的作用下,将该装置的下部安装位置定位,该部分结构的设置便于将该装置较好的安装定位在单晶炉的内部,便于后期制作生长晶体时石墨坩埚进行提升操作;2.腔体的设置,可以缓解石墨坩埚在温度变化的情况下热胀冷缩的变形量,虽然石墨材料的稳定性较好,但是由于晶体加工过程中温度需要上千度,因而在长期使用石墨坩埚的情况下,石墨材料还是会受到热障冷缩的影响,腔体的设置可以缓冲变形量,增加装置的使用寿命,同时腔体的内部设置有导热气体,可以在温度变化的情况下向石墨坩埚内部的加工材料均匀进行导热。附图说明图1为本技术正面剖视结构示意图;图2为本技术石墨坩埚俯视剖视结构示意图;图3为本技术上部夹块正面剖视结构示意图;图4为本技术下部夹块正面剖视结构示意图;图5为本技术图4中A处放大结构示意图。图中:1、提升安装结构;2、石墨坩埚;3、腔体;4、下部夹块;5、螺纹杆;6、固定块;7、复位弹簧;8、定位杆;9、连接杆;10、侧边滑槽;11、上部夹块;12、内部转轴;13、螺纹孔;14、内部滑槽;15、内部弹簧;16、内部滑块;17、麻花杆;18、涡旋弹簧;19、下部转轴;20、麻花孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5,本技术提供一种技术方案:一种便于安装定位的单晶炉用新型一体锅,包括提升安装结构1、石墨坩埚2、腔体3、下部夹块4、螺纹杆5、固定块6、复位弹簧7、定位杆8、连接杆9、侧边滑槽10、上部夹块11、内部转轴12、螺纹孔13、内部滑槽14、内部弹簧15、内部滑块16、麻花杆17、涡旋弹簧18、下部转轴19和麻花孔20,提升安装结构1的内部安装有石墨坩埚2,且石墨坩埚2的内部开设有腔体3,并且石墨坩埚2的下方两侧内部活动连接有下部夹块4,螺纹杆5贯穿连接在石墨坩埚2的上方内部,且石墨坩埚2的外表面固定安装有固定块6,并且固定块6通过复位弹簧7与定位杆8相互连接,连接杆9焊接在定位杆8的下表面,且连接杆9通过侧边滑槽10与上部夹块11相互连接,并且侧边滑槽10预留在上部夹块11的上端侧面,上部夹块11通过内部转轴12与固定块6相互连接,且上部夹块11的内侧开设有螺纹孔13,石墨坩埚2的内部预留有内部滑槽14,且内部滑槽14通过内部弹簧15与内部滑块16相互连接,并且内部滑块16对称焊接在下部夹块4的外部两侧,同时下部夹块4侧面内部固定安装有麻花杆17,石墨坩埚2的内部通过涡旋弹簧18与下部转轴19相互连接,且下部转轴19的外侧开设有麻花孔20。本例中石墨坩埚2与提升安装结构1组成拆卸安装结构,且石墨坩埚2的外部横截面面积等于提升安装结构1的内部横截面面积,上述的结构设计便于将石墨坩埚2安装在提升安装结构1的内部;腔体3等间距环绕状在石墨坩埚2的内侧面开设有4个,且腔体3的内部填充有导热气体,腔体3的设置便于缓冲石墨坩埚2热胀冷缩的变形量;下部夹块4通过内部滑块16与内部滑槽14组成滑动结构,且内部滑块16通过内部弹簧15与内部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于安装定位的单晶炉用新型一体锅,包括提升安装结构(1)、螺纹杆(5)和连接杆(9),其特征在于:所述提升安装结构(1)的内部安装有石墨坩埚(2),且石墨坩埚(2)的内部开设有腔体(3),并且石墨坩埚(2)的下方两侧内部活动连接有下部夹块(4),所述螺纹杆(5)贯穿连接在石墨坩埚(2)的上方内部,且石墨坩埚(2)的外表面固定安装有固定块(6),并且固定块(6)通过复位弹簧(7)与定位杆(8)相互连接,所述连接杆(9)焊接在定位杆(8)的下表面,且连接杆(9)通过侧边滑槽(10)与上部夹块(11)相互连接,并且侧边滑槽(10)预留在上部夹块(11)的上端侧面,所述上部夹块(11)通过内部转轴(12)与固定块(6)相互连接,且上部夹块(11)的内侧开设有螺纹孔(13),所述石墨坩埚(2)的内部预留有内部滑槽(14),且内部滑槽(14)通过内部弹簧(15)与内部滑块(16)相互连接,并且内部滑块(16)对称焊接在下部夹块(4)的外部两侧,同时下部夹块(4)侧面内部固定安装有麻花杆(17),所述石墨坩埚(2)的内部通过涡旋弹簧(18)与下部转轴(19)相互连接,且下部转轴(19)的外侧开设有麻花孔(20)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种便于安装定位的单晶炉用新型一体锅,包括提升安装结构(1)、螺纹杆(5)和连接杆(9),其特征在于:所述提升安装结构(1)的内部安装有石墨坩埚(2),且石墨坩埚(2)的内部开设有腔体(3),并且石墨坩埚(2)的下方两侧内部活动连接有下部夹块(4),所述螺纹杆(5)贯穿连接在石墨坩埚(2)的上方内部,且石墨坩埚(2)的外表面固定安装有固定块(6),并且固定块(6)通过复位弹簧(7)与定位杆(8)相互连接,所述连接杆(9)焊接在定位杆(8)的下表面,且连接杆(9)通过侧边滑槽(10)与上部夹块(11)相互连接,并且侧边滑槽(10)预留在上部夹块(11)的上端侧面,所述上部夹块(11)通过内部转轴(12)与固定块(6)相互连接,且上部夹块(11)的内侧开设有螺纹孔(13),所述石墨坩埚(2)的内部预留有内部滑槽(14),且内部滑槽(14)通过内部弹簧(15)与内部滑块(16)相互连接,并且内部滑块(16)对称焊接在下部夹块(4)的外部两侧,同时下部夹块(4)侧面内部固定安装有麻花杆(17),所述石墨坩埚(2)的内部通过涡旋弹簧(18)与下部转轴(19)相互连接,且下部转轴(19)的外侧开设有麻花孔(20)。


2.根据权利要求1所述的一种便于安装定位的单晶炉用新型一体锅,其特征在于:所述石墨坩埚(2)与提升安装结构(1)组成拆卸安装结构,且石墨坩埚(2)的外部横截面面积等于提升安装结构(1)的内部横截面面积。


3.根据权利要求1所述的一种便于...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨昊
申请(专利权)人:弘元新材料包头有限公司
类型:新型
国别省市:内蒙古;15

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