【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割自动化设备
本技术涉及晶圆自动化作业
,尤其涉及一种晶圆切割自动化设备。
技术介绍
在LED行业,切割部门作业需人员选择手动取料放料进入划片机、裂片机。目前市场上作业模式均为人工作业模式。人工放置作业模式,作业效率低,易出错,人员处理机台软体报警时需走至机台旁边处理,其间需要大量的作业人员,人力成本高,容易出现人为错误,存在不足。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本技术提供了一种晶圆切割自动化设备,解决了现有技术中晶圆切割作业模式均为人工作业模式。人工放置作业模式,作业效率低,易出错,人员处理机台软体报警时需走至机台旁边处理的问题。(二)技术方案为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种晶圆切割自动化设备,包括划片机、地轨、有轨制导小车、防护网、中控、料架、裂片机;其中:若干数量的划片机和裂片机呈线状放置,划片机上设置有划片机作业门,划片机作业门内部安装有划片机卡塞摆放平台,裂片机上设置有裂片机作业门,裂片机作业门内部安装有裂片机卡塞摆放平台, ...
【技术保护点】
1.一种晶圆切割自动化设备,包括划片机(1)、地轨(2)、有轨制导小车(3)、防护网(4)、中控(5)、料架(6)、裂片机(7);其特征在于:若干数量的划片机(1)和裂片机(7)呈线状放置,划片机(1)上设置有划片机作业门(12),划片机作业门(12)内部安装有划片机卡塞摆放平台(13),裂片机(7)上设置有裂片机作业门(14),裂片机作业门(14)内部安装有裂片机卡塞摆放平台(15),每台划片机作业门(12)与裂片机作业门(14)对向放置,在划片机(1)和裂片机(7)中间铺设有地轨(2),有轨制导小车(3)安装在地轨(2)上,在地轨(2)上移动,有轨制导小车(3)上安装六 ...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割自动化设备,包括划片机(1)、地轨(2)、有轨制导小车(3)、防护网(4)、中控(5)、料架(6)、裂片机(7);其特征在于:若干数量的划片机(1)和裂片机(7)呈线状放置,划片机(1)上设置有划片机作业门(12),划片机作业门(12)内部安装有划片机卡塞摆放平台(13),裂片机(7)上设置有裂片机作业门(14),裂片机作业门(14)内部安装有裂片机卡塞摆放平台(15),每台划片机作业门(12)与裂片机作业门(14)对向放置,在划片机(1)和裂片机(7)中间铺设有地轨(2),有轨制导小车(3)安装在地轨(2)上,在地轨(2)上移动,有轨制导小车(3)上安装六轴机械臂(24),六轴机械臂(24)上安装机械手爪(25),地轨(2)两端设置有防护网(4),所述中控(5)由显示器一(26)、显示器二(27)及电脑(28)组成,显示器一(26)显示有轨制导小车(3)运动状态,显示器二(27)显示机台运作状态,所述划片机卡塞摆放平台(13)、裂片机卡塞摆放平台(15)上分别安装有倒角一(32)、倒角二(33)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴琼琼,崔思远,文国昇,钟胜时,武良文,
申请(专利权)人:江西兆驰半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:江西;36
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