下载一种晶圆切割自动化设备的技术资料

文档序号:25671161

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本实用新型公开了一种晶圆切割自动化设备,包括划片机、地轨、有轨制导小车、防护网、中控、料架、裂片机;其中:若干数量的划片机和裂片机呈线状放置,划片机上设置有划片机作业门,划片机作业门内部安装有划片机卡塞摆放平台,裂片机上设置有裂片机作业门,...
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