一种掩膜板清洗液回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种掩膜板清洗液回收装置，包括清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块，所述清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块依次连接于管道上，并且管道构成循环回路，所述水汽分离模块包括液化单元以及水汽分离单元，所述冷凝回收模块包括第二出汽端，所述第二出汽端设置在冷凝回收模块的上端，所述冷凝回收模块对所述水汽分离模块传输过来的清洗液蒸汽冷凝液化。清洗槽中的清洗液气体和空气的混合气体进入水汽分离模块，水汽分离模块将很合气体汇总的水分去除，干燥后的气体进入冷凝回收模块，冷凝回收模块将清洗液蒸汽液化收集，并经管道回到清洗槽实现清洗液的回收与利用的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板清洗液回收装置
本技术涉及OLED(英文全称为：OrganicLight-EmittingDiode，中文名称为：有机发光二极管)显示面板制造
，特别涉及一种掩膜板清洗液回收装置。
技术介绍
在当前OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)技术中，用于真空蒸镀的掩膜板非常重要和关键，该部件的精度与质量将直接决定OLED产品的显示效果与品质。掩膜板，特别是高精细金属掩膜板，其掩膜条表面具有数量众多尺寸微小的开孔，但材料蒸汽会在开孔边缘和非基板接触表面逐渐残留堆积，最终会降低开孔尺寸，增加掩模条的下垂量，造成蒸镀区域精准度及形状欠佳，影响掩膜板的正常使用，在蒸镀制程中，掩膜板在循环使用前必须清除有机材料及颗粒。目前掩膜板清洗机首先通过一种溶解性较强的清洗液去除有机材料及颗粒，然后再利用挥发性较强的清洗液如氢氟醚系列溶液(HFE)或IPA等，溶解前端清洗液，最后干燥以完成整个清洗流程。氢氟醚系列溶液(HFE)或IPA具有很强的挥发性从而避免在掩膜板残留，但也因此清洗槽内清洗液不可避免地由于大量挥发而需要频繁补充，目前掩膜板清洗行业及现有设备内并无相关回收解决方案，而是将挥发的清洗液气体通过排气管直接排出，使用的清洗液价格非常昂贵，从而导致掩膜板的清洗成本居高不下，直接提高了OLED显示屏的生产成本。氢氟醚系列溶液挥发性高沸点较低，气体遇低温后可冷凝液化，而简单地将挥发气体进行冷却会得到掺杂较多的水分，循环利用后导致掩膜板生锈，因此也急需解决此类技术问题。
技术实现思路
为此，需要提供一掩膜板清洗液回收装置，用于解决现有技术中掩膜板清洗液无法回收的技术问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种掩膜板清洗液回收装置，包括清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块；所述清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块依次连接于管道上，并且管道构成循环回路；所述水汽分离模块包括液化单元以及水汽分离单元，所述水汽分离单元用于对液化单元低温雾化后的雾化水进行分离；所述冷凝回收模块包括第二出汽端，所述第二出汽端设置在冷凝回收模块的上端，所述冷凝回收模块对所述水汽分离模块传输过来的清洗液蒸汽冷凝液化，液化后的清洗液液体回到清洗槽实现清洗液的回收与利用。作为本技术的一种优选结构，所述掩膜板清洗液回收装置还设置有第一单向阀、第二单向阀和第三单向阀，所述第一单向阀位于所述清洗槽和所述液化单元的连接管道上，所述第二单向阀位于所述水汽分离模块和所述冷凝回收模块的连接管道上，所述第三单向阀位于所述冷凝回收模块与所述清洗槽的连接管路上，所述第一单向阀、第二单向阀和第三单向阀用于阻止管道内的气液混合物反向流动。作为本技术的一种优选结构，所述第二单向阀为单向电磁阀。作为本技术的一种优选结构，所述水汽分离单元的下端还设置有疏水阀。作为本技术的一种优选结构，所述水汽分离单元为水汽分离器。作为本技术的一种优选结构，所述水汽分离单元为减压蒸馏器。作为本技术的一种优选结构，所述减压蒸馏器内还设置有液位传感器，所述液化单元的上端还设置有第一出气端，便于固液混合体更快分离。作为本技术的一种优选结构，所述掩膜板清洗液回收装置还设置有水汽检测模块，所述水汽检测模块一端连接在所述水汽分离模块和冷凝回收模块的连接管路上，另一端与冷凝回收模块上的第一出汽端连接，所述水汽检测模块用于检测气体内的水汽含量。作为本技术的一种优选结构，所述水汽分离模块的数量为两个，所述水汽分离模块之间串联，用于清洗液提纯。作为本技术的一种优选结构，还设置有进汽端，所述进汽端设置在所述清洗槽与水汽分离模块的连接管道上，用于将混合气体一起倒入水汽分离模块。区别于现有技术，上述技术方案包括清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块，所述清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块依次连接于管道上，并且管道构成循环回路，所述水汽分离模块包括液化单元以及水汽分离单元，所述水汽分离单元用于对液化单元低温雾化后的雾化水进行分离，所述冷凝回收模块包括第二出汽端，所述第二出汽端设置在冷凝回收模块的上端，所述冷凝回收模块对所述水汽分离模块传输过来的清洗液蒸汽冷凝液化。清洗槽中的清洗液气体和空气的混合气体进入水汽分离模块，水汽分离模块将很合气体汇总的水分去除，干燥后的气体进入冷凝回收模块，冷凝回收模块将清洗液蒸汽液化收集，并经管道回到清洗槽实现清洗液的回收与利用的目的。附图说明图1为具体实施方式所述为汽水分离器的一级水汽分离模块结构示意图；图2为具体实施方式所述为汽水分离器的二级水汽分离模块结构示意图；图3为具体实施方式所述为减压蒸馏器的一级水汽分离模块结构示意图；图4为具体实施方式所述为减压蒸馏器的二级水汽分离模块结构示意图。附图标识：1、清洗槽；2、水汽分离模块；21、液化单元；22、第一出汽端；23、水汽分离器；24、减压蒸馏器；25、疏水阀；3、冷凝回收模块；31、第二出汽端；4、单向阀；41、第一单向阀；42、第二单向阀；43、第三单向阀；5、水汽检测模块；6、进汽端。具体实施方式为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”、仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个以上包括两个；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。本说明书的描述中，需要理解的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。请一并参阅图1至图4，本实施例涉及一种掩膜板清洗液回收装置，包括清洗槽1、水汽分离模块2以及冷凝回收模块3。所述清洗槽1、水汽分离模块2以及冷凝回收模块3依次连接于管道上，并且管道构成循环回路。便于实现将洗衣液汽体液化回收并清除水分杂质以达到回收使用的目的。所述水汽分离模块2包括液化单元21以及水汽分离单元，所述水汽分离单元用于对液化单元21低温雾化后的雾化水进行分离。所述冷凝回收模块包括第二出汽端31，所述第二出汽端31设置在冷凝回收模块3的上端，所述冷凝回收模块3对所述水汽分离器23传输过来的清洗液本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，包括清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块；/n所述清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块依次连接于管道上，并且管道构成循环回路；/n所述水汽分离模块包括液化单元以及水汽分离单元，所述水汽分离单元用于对液化单元低温雾化后的雾化水进行分离；/n所述冷凝回收模块包括第二出汽端，所述第二出汽端设置在冷凝回收模块的上端，所述冷凝回收模块对所述水汽分离模块传输过来的清洗液蒸汽冷凝液化，液化后的清洗液液体回到清洗槽实现清洗液的回收与利用。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，包括清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块；
所述清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块依次连接于管道上，并且管道构成循环回路；
所述水汽分离模块包括液化单元以及水汽分离单元，所述水汽分离单元用于对液化单元低温雾化后的雾化水进行分离；
所述冷凝回收模块包括第二出汽端，所述第二出汽端设置在冷凝回收模块的上端，所述冷凝回收模块对所述水汽分离模块传输过来的清洗液蒸汽冷凝液化，液化后的清洗液液体回到清洗槽实现清洗液的回收与利用。


2.如权利要求1所述的掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，所述掩膜板清洗液回收装置还设置有第一单向阀、第二单向阀和第三单向阀，所述第一单向阀位于所述清洗槽和所述液化单元的连接管道上，所述第二单向阀位于所述水汽分离模块和所述冷凝回收模块的连接管道上，所述第三单向阀位于所述冷凝回收模块与所述清洗槽的连接管路上，所述第一单向阀、第二单向阀和第三单向阀用于阻止管道内的气液混合物反向流动。


3.如权利要求2所述的掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，所述第二单向阀为单向电磁阀。


4.如权利要求1所述的掩膜板清洗液回收装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴聪原，张麒麟，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35