改善管式PERC太阳能电池边缘绕镀色差的正面复合膜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种改善管式PERC太阳能电池边缘绕镀色差的正面复合膜，其中，依次包括SiNx:Hy层、SiOxNy层和SiOx层；所述SiNx:Hy层至少包括5层不同折射率和厚度的SiNx:Hy层，分别为第一SiNx:Hy层、第二SiNx:Hy层、第三SiNx:Hy层、第四SiNx:Hy层和第五SiNx:Hy层，所述SiOxNy层至少包括2～3层不同折射率和厚度的SiOxNy层；所述SiOx层至少包括1层不同折射率和厚度的SiOx层。采用本实用新型专利技术，可以有效改善PERC电池制造过程中，采用管式等离子体设备制备背钝化膜带来的正面边缘绕镀色差，提高光伏组件外观均匀性。

【技术实现步骤摘要】
改善管式PERC太阳能电池边缘绕镀色差的正面复合膜
本技术涉及太阳能电池的制造领域，尤其涉及一种改善管式PERC太阳能电池边缘绕镀色差的正面复合膜。
技术介绍
晶硅太阳能电池是一种将太阳光转换为电能的半导体光电器件，基本原理是利用半导体技术制造出PN结，大于半导体禁带宽度的太阳光被电池吸收，激发光生载流子，在PN结的内建势场作用下，光生电子和空穴分离，向相反方向分别运动到N型侧及P型侧，形成光生电压，经过电极引出后在负载电路上形成电流。目前已成为光伏行业主流技术的P型单晶PERC太阳能电池，相比传统全铝背场单晶太阳能电池采用铝背场钝化背表面，PERC电池采用AlOx/SiOxNy/SiNx:Hy结构的多层膜钝化背表面，有效降低背表面少子复合速率，增加光生载流子迁移至背电极的几率，并提高入射光利用率，较大幅度地提升晶硅电池的光电转化效率。但是，由于目前背面AlOx/SiOxNy/SiNx:Hy多层膜结构中，AlOx/SiOxNy/SiNx:Hy层或者SiOxNy/SiNx:Hy层或者SiNx:Hy层常采用管式PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)设备制备，由于管式PECVD设备都采用石墨舟作为硅片承载装置，硅片竖直贴靠在管式等离子体镀膜设备在镀背钝化膜层过程中，会有部分反应气体迁移到正表面边缘区域反应生成SiOxNy、SiNx:Hy绕镀层，而采用现有技术镀正膜后，绕镀层会造成正膜边缘区域薄膜厚度大于中心区域薄膜厚度，在电池片最终封装成光伏组件后，正面不同区域薄膜厚度的差异会引起组件外观的颜色差异，将这种颜色差异称为“边缘绕镀色差”。现有技术采用1～3层SiNx:Hy薄膜作为正面钝化及减反膜，无法有效解决管式PERC太阳能电池封装成光伏组件后的外观色差不均匀问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于，提供一种改善管式PERC太阳能电池边缘绕镀色差的正面复合膜，可以有效改善PERC电池制造过程中，采用管式等离子体设备制备背钝化膜带来的正面边缘绕镀色差，提高光伏组件外观均匀性。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种改善管式PERC太阳能电池边缘绕镀色差的正面复合膜，依次包括SiNx:Hy层、SiOxNy层和SiOx层；所述SiNx:Hy层至少包括5层不同折射率和厚度的SiNx:Hy层，分别为第一SiNx:Hy层、第二SiNx:Hy层、第三SiNx:Hy层、第四SiNx:Hy层和第五SiNx:Hy层；所述SiOxNy层至少包括2～3层不同折射率和厚度的SiOxNy层，所述SiOxNy层与所述第五SiNx:Hy层连接；所述SiOx层至少包括1层不同折射率和厚度的SiOx层，所述SiOx层与所述SiOxNy层连接。作为上述方案的改进，所述第一SiNx:Hy层的厚度为6nm～12nm，折射率为2.25～2.3；所述第二SiNx:Hy层的厚度为8nm～15nm，折射率为2.20～2.24；所述第三SiNx:Hy层的厚度为10nm～17nm，折射率为2.15～2.19；所述第四SiNx:Hy层的厚度为8nm～14nm，折射率为2.10～2.14；所述第五SiNx:Hy层的厚度为4nm～10nm，折射率为2.05～2.09。作为上述方案的改进，所述第一SiNx:Hy层的厚度为9nm，折射率为2.27；所述第二SiNx:Hy层的厚度为13nm，折射率为2.22；所述第三SiNx:Hy层的厚度为12nm，折射率为2.17；所述第四SiNx:Hy层的厚度为10nm，折射率为2.12；所述第五SiNx:Hy层的厚度为5nm，折射率为2.06。作为上述方案的改进，所述SiOxNy层从下往上依次包括第一SiOxNy层、第二SiOxNy层和第三SiOxNy层，所述第一SiOxNy层与SiNx:Hy层连接；所述第一SiOxNy层的厚度为10nm～18nm，折射率为1.90～2.03；所述第二SiOxNy层的厚度为10nm～18nm，折射率为1.75～1.89；所述第三SiOxNy层的厚度为4nm～8nm，折射率为1.60～1.74。作为上述方案的改进，所述第一SiOxNy层的厚度为14nm，折射率为1.97；所述第二SiOxNy层的厚度为13nm，折射率为1.85；所述第三SiOxNy层的厚度为5.5nm，折射率为1.65。作为上述方案的改进，所述SiOx层的厚度为5nm～12nm，折射率为1.25～1.60。作为上述方案的改进，所述SiOx层的厚度为7.5nm，折射率为1.45。实施本技术，具有如下有益效果：1、本技术提供的正面复合膜，依次包括SiNx:Hy层、SiOxNy层和SiOx层，其中，所述SiNx:Hy层至少包括5层不同折射率和厚度的SiNx:Hy层，其采用多层渐变膜设计，各层采用不同气体流量设计，得到不同厚度和折射率的SiNx:Hy层，相比现有技术，可以更好地提高正面薄膜的均匀性，减少电池片的边缘色差；2、本技术提供的正面复合膜，相比现有技术，可以有效降低正膜表面的反射率，封装成光伏组件后，组件外观上不存在边缘与中心区域色差，组件外观呈现很好的均匀性，极大地改善了现有技术的边缘绕镀色差问题；3、本技术提供的正面复合膜，可以方便地兼容现有管式PERC晶硅太阳能电池生产线，不需要额外投入新的设备，具有成本低、工艺简便和兼容性好的优点。附图说明图1是本技术改善管式PERC太阳能电池边缘绕镀色差的正面复合膜的示意图。图2是本技术正面复合膜的反射率曲线图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本技术作进一步地详细描述。结合图1，本技术提供的一种改善管式PERC太阳能电池边缘绕镀色差的正面复合膜，依次包括SiNx:Hy层1、SiOxNy层2和SiOx层3；所述SiNx:Hy层1至少包括5层不同折射率和厚度的SiNx:Hy层，分别为第一SiNx:Hy层11、第二SiNx:Hy层12、第三SiNx:Hy层13、第四SiNx:Hy层14和第五SiNx:Hy层15；所述SiOxNy层2至少包括2～3层不同折射率和厚度的SiOxNy层，所述SiOxNy层2与所述第五SiNx:Hy层15连接；所述SiOx层3至少包括1层不同折射率和厚度的SiOx层，所述SiOx层3与所述SiOxNy层2连接。其中，所述第一SiNx:Hy层11的厚度为6nm～12nm，折射率为2.25～2.3；所述第二SiNx:Hy层12的厚度为8nm～15nm，折射率为2.20～2.24；所述第三SiNx:Hy层13的厚度为10nm～17nm，折射率为2.15～2.19；所述第四SiNx:Hy层14的厚度为8nm～14nm，折射率为2.1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种改善管式PERC太阳能电池边缘绕镀色差的正面复合膜，其特征在于，依次包括SiNx:Hy层、SiOxNy层和SiOx层；/n所述SiNx:Hy层至少包括5层不同折射率和厚度的SiNx:Hy层，分别为第一SiNx:Hy层、第二SiNx:Hy层、第三SiNx:Hy层、第四SiNx:Hy层和第五SiNx:Hy层；/n所述SiOxNy层至少包括2～3层不同折射率和厚度的SiOxNy层，所述SiOxNy层与所述第五SiNx:Hy层连接；/n所述SiOx层至少包括1层不同折射率和厚度的SiOx层，所述SiOx层与所述SiOxNy层连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种改善管式PERC太阳能电池边缘绕镀色差的正面复合膜，其特征在于，依次包括SiNx:Hy层、SiOxNy层和SiOx层；
所述SiNx:Hy层至少包括5层不同折射率和厚度的SiNx:Hy层，分别为第一SiNx:Hy层、第二SiNx:Hy层、第三SiNx:Hy层、第四SiNx:Hy层和第五SiNx:Hy层；
所述SiOxNy层至少包括2～3层不同折射率和厚度的SiOxNy层，所述SiOxNy层与所述第五SiNx:Hy层连接；
所述SiOx层至少包括1层不同折射率和厚度的SiOx层，所述SiOx层与所述SiOxNy层连接。


2.如权利要求1所述的改善管式PERC太阳能电池边缘绕镀色差的正面复合膜，其特征在于，所述第一SiNx:Hy层的厚度为6nm～12nm，折射率为2.25～2.3；
所述第二SiNx:Hy层的厚度为8nm～15nm，折射率为2.20～2.24；
所述第三SiNx:Hy层的厚度为10nm～17nm，折射率为2.15～2.19；
所述第四SiNx:Hy层的厚度为8nm～14nm，折射率为2.10～2.14；
所述第五SiNx:Hy层的厚度为4nm～10nm，折射率为2.05～2.09。


3.如权利要求2所述的改善管式PERC太阳能电池边缘绕镀色差的正面复合膜，其特征在于，所述第一SiNx:Hy层的厚度为9nm，折射率为2.27；
所述第二SiNx:Hy层的厚度为13nm，折射率为2.22；
所述第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：周文元，杨苏平，尧海华，曾超，林纲正，陈刚，
申请(专利权)人：广东爱旭科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44