用光栅型波前曲率传感器测量焦距和等效f数的方法技术

本发明专利技术公开了一种用光栅型波前曲率传感器测量焦距和等效ｆ数的方法，其步骤为：①首先用参考光束标定光栅型波前曲率传感器；②将待测器件置于光路中，通过透射或反射的方式产生具有待测焦距的散焦波前，此散焦波前入射进光栅型波前曲率传感器中并使用光栅型波前曲率传感器探测两离焦面的离焦光斑，测量前离焦光斑的直径ｄ↓［１］和后离焦光斑ｄ↓［２］，根据光栅型波前曲率传感器的设计参数得到散焦光栅等效焦距ｆ↓［ｇ］、短焦距透镜焦距ｆ↓［１］；③计算两离焦光斑直径ｄ↓［１］和ｄ↓［２］的归一化的差Ｓ；④判断得到的两个离焦光斑时的位置关系，通过不同的公式分别计算出焦距或等效ｆ数。本发明专利技术具有测量精度高、适用范围广、成本低廉等优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用光栅型波前曲率传感器测量焦距和等效ｆ数的方法，其特征在于步骤为：①．首先用参考光束标定光栅型波前曲率传感器；②．将待测器件置于光路中，通过透射或反射的方式产生具有待测焦距的散焦波前，此散焦波前入射进光栅型波前曲率传感器 中并使用光栅型波前曲率传感器探测两离焦面的离焦光斑，测量前离焦光斑的直径ｄ↓［１］和后离焦光斑ｄ↓［２］，根据光栅型波前曲率传感器的设计参数得到散焦光栅等效焦距ｆ↓［ｇ］、短焦距透镜焦距ｆ↓［ｌ］；③．由下式（５）两离焦光斑直径ｄ↓ ［１］和ｄ↓［２］的归一化的差Ｓ为＊＊＊（５）④．当得到的两个离焦光斑一个为前离焦，另一个为后离焦光斑时，可知｜ｆ｜＞ｆ↓［ｇ］，则通过下式（７）和式（８）分别计算出焦距或等效ｆ数；ｆ＝ｆ↓［ｇ］／Ｓ（７）　 　＊＊＊（８）⑤．当得到的两个离焦光斑都为前离焦光斑或后离焦光斑，可知｜ｆ｜≤ｆ↓［ｇ］，通过下式（９）和式（１０）分别计算出焦距或等效ｆ数。ｆ＝ｆ↓［ｇ］Ｓ（９）＊＊＊（１０）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：习锋杰，许晓军，姜宗福，余浩，李霄，李文煜，汪晓波，王墨戈，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科学技术大学，
类型：发明
国别省市：43[中国|湖南]