静电扫描微镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种静电扫描微镜，包括上部的微镜本体和下方的键合底板，微镜本体包括边框和镜面，边框背面固定在键合底板上；所述镜面上下两端分别连接有连接部，并通过转轴与边框连接；所述连接部的外侧加工有动齿，边框内侧与动齿相对的位置上加工有静齿。本实用新型专利技术的静电扫描微镜在转轴和镜面之间设置一个专用的连接部，通过在连接部的外侧设置梳齿，可以增加梳齿布置区域，增强微镜的驱动力，增加微镜的最大偏转角度。同时，通过在边框上设置不同结构的隔离槽，将边框分隔为不同的功能区域，并且将所有的梳齿组分为驱动梳齿组和反馈梳齿组，在驱动镜面偏转的同时，可以实时监控镜面偏转角度，提高镜面偏转角度控制的精确性。

【技术实现步骤摘要】
静电扫描微镜
本技术涉及微机电系统领域，尤其是一种基于MEMS加工工艺制作的静电扫描微镜。
技术介绍
MEMS指微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem），是在微电子技术基础上发展起来的革命性新技术，融合光刻、腐蚀、薄膜、硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。MEMS器件广泛应用于高新技术产业，是一项关系到科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。其中，扫描微镜是一种应用MEMS技术研制的光反射型器件，通过连接反射镜面的扭转结构，在微驱动力的作用下，带动镜面偏转，实现对光束在一维或二维方向的反射扫描，具有成本低、可靠性高、小型化和易批量生产等优点，在光通信、激光投影、激光雷达、三维成像等领域具有巨大的应用市场。现有技术中的静电扫描微镜包括镜面和边框，镜面和边框之间通过两个转轴连接在一起。工作时，通过在微镜梳齿组的动齿和静齿之间施加不同的电压，改变梳齿间静电力，引起梳齿相对扭转，进而带动镜面以转轴为轴线发生偏转。但是，扫描微镜的转轴不能加工过长，否则将导致转轴刚性变差，偏转过程容易折断。而由于转轴长度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电扫描微镜，其特征在于：包括上部的微镜本体和下方的键合底板（13），微镜本体包括边框（1）和镜面（2），边框（1）背面固定在键合底板（13）上；所述镜面（2）上下两端分别连接有连接部（4），并通过转轴（3）与边框（1）连接；所述连接部（4）的外侧加工有动齿，边框（1）内侧与动齿相对的位置上加工有静齿。/n

【技术特征摘要】
1.一种静电扫描微镜，其特征在于：包括上部的微镜本体和下方的键合底板（13），微镜本体包括边框（1）和镜面（2），边框（1）背面固定在键合底板（13）上；所述镜面（2）上下两端分别连接有连接部（4），并通过转轴（3）与边框（1）连接；所述连接部（4）的外侧加工有动齿，边框（1）内侧与动齿相对的位置上加工有静齿。


2.根据权利要求1所述的静电扫描微镜，其特征在于：所述键合底板（13）上制作有金属平板电极（15），平板电极（15）位于镜面（2）中轴线的一侧；所述边框（1）上加工有通孔（14），外部导线通过通孔内的金属连接平板电极（15）。


3.根据权利要求1所述的静电扫描微镜，其特征在于：所述键合底板（13）中部与镜面（2）正对的位置加工为凹槽。


4.根据权利要求1所述的静电扫描微镜，其特征在于：所述连接部（4）由上部的U型结构和下部的方形结构组成，方形结构与镜面（2）连接；转轴（3）一端连接边框（1）的内侧，另一端连接连接部（4）的U型结构的底部。


5.根据权利要求1所述的静电扫描微镜，其特征在于：所述边框（1）被多个隔离槽（5）分隔为左侧驱动部（1-1）、中间偏转部（1-2）和右侧反馈部（1-3），所述转轴（3）与偏转部（1-2）连接；驱动部（1-1）的静齿与连接部（4）的动齿组成驱动梳齿组（6），反馈部（1-3）的静...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐乃涛，孙其梁，程进，李宋泽，
申请(专利权)人：无锡微视传感科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32