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静电扫描微镜制造技术
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文档序号:25657209
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本实用新型公开了一种静电扫描微镜,包括上部的微镜本体和下方的键合底板,微镜本体包括边框和镜面,边框背面固定在键合底板上;所述镜面上下两端分别连接有连接部,并通过转轴与边框连接;所述连接部的外侧加工有动齿,边框内侧与动齿相对的位置上加工有静齿...
该专利属于无锡微视传感科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡微视传感科技有限公司授权不得商用。
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