一种籽晶检测装置及籽晶检测系统制造方法及图纸

技术编号:25655123 阅读:22 留言:0更新日期:2020-09-15 21:51
本实用新型专利技术提供了一种籽晶检测装置及籽晶检测系统,所述籽晶检测装置包括:本体以及贯穿本体的检测孔,检测孔的形状与籽晶的形状匹配,检测孔可以直接用于检测籽晶的尺寸和同轴度。通过籽晶是否可以穿设在检测孔内,或者穿设后的间隙判断籽晶是否合格。检测过程简单,操作便利,在节省工时的同时,还可以提高检测的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种籽晶检测装置及籽晶检测系统
本技术涉及单晶硅制造
,特别是涉及一种籽晶检测装置及籽晶检测系统。
技术介绍
随着太阳能利用率的不断提高,光伏发电得到快速发展,硅片作为光伏发电的基础材料,通常是由单晶硅棒切割而成。现有技术中,单晶在制备过程中需要用到籽晶作为母体,以引导并承载单晶硅棒。然而,目前籽晶在入厂检测的时候,通常是通过尺规来测量籽晶的尺寸,测量的误差大,耗费工时,并且无法判断籽晶的同轴度。
技术实现思路
鉴于上述问题,提出了本技术以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种籽晶检测装置及籽晶检测系统。为了解决上述问题,一方面,本技术公开了一种籽晶检测装置,用于检测籽晶,所述籽晶检测装置包括:本体以及贯穿所述本体的检测孔;其中,所述检测孔的形状与所述籽晶的形状匹配。可选的,所述检测孔的孔径与预设尺寸籽晶直径之间的差值在所述籽晶的公差范围内。可选的,沿所述籽晶的轴向,所述籽晶包括依次设置的夹持部、过渡部和主体部,沿所述检测孔的轴向,所述检测孔包括依本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种籽晶检测装置,用于检测籽晶,其特征在于,所述籽晶检测装置包括:本体以及贯穿所述本体的检测孔;其中,/n所述检测孔的形状与所述籽晶的形状匹配;/n沿所述籽晶的轴向,所述籽晶包括依次设置的夹持部、过渡部和主体部,沿所述检测孔的轴向,所述检测孔包括依次连通的第一孔、过渡孔和第二孔,所述第一孔的形状与所述夹持部的形状匹配,所述过渡孔的形状与所述过渡部的形状匹配,所述第二孔的形状与所述主体部的形状匹配。/n

【技术特征摘要】
1.一种籽晶检测装置,用于检测籽晶,其特征在于,所述籽晶检测装置包括:本体以及贯穿所述本体的检测孔;其中,
所述检测孔的形状与所述籽晶的形状匹配;
沿所述籽晶的轴向,所述籽晶包括依次设置的夹持部、过渡部和主体部,沿所述检测孔的轴向,所述检测孔包括依次连通的第一孔、过渡孔和第二孔,所述第一孔的形状与所述夹持部的形状匹配,所述过渡孔的形状与所述过渡部的形状匹配,所述第二孔的形状与所述主体部的形状匹配。


2.根据权利要求1所述的籽晶检测装置,其特征在于,所述检测孔的孔径与预设尺寸籽晶直径之间的差值在所述籽晶的公差范围内。


3.根据权利要求1所述的籽晶检测装置,其特征在于,所述第二孔的长度小于所述主体部的长度。


4.根据权利要求1所述的籽晶检测装置,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:涂思永
申请(专利权)人:华坪隆基硅材料有限公司
类型:新型
国别省市:云南;53

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