单晶炉清灰装置及单晶炉制造方法及图纸

技术编号:33991938 阅读:54 留言:0更新日期:2022-07-02 09:55
本实用新型专利技术实施例提供了一种单晶炉清灰装置及单晶炉。该单晶炉清灰装置包括:驱动组件、清灰组件;驱动组件与清灰组件连接,驱动组件用于驱动清灰组件沿清灰组件与驱动组件连接的连接方向往复运动,清灰组件用于对单晶炉的管道进行清灰。的管道进行清灰。的管道进行清灰。

Single crystal furnace ash cleaning device and single crystal furnace

【技术实现步骤摘要】
单晶炉清灰装置及单晶炉


[0001]本技术涉及单晶炉
,具体涉及一种单晶炉清灰装置及单晶炉。

技术介绍

[0002]在太阳能电池
,通常需要对晶硅进行加工,其中,常用的器具为单晶炉。单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备。目前,单晶炉的管道中会产生积尘,影响单晶炉的使用,但清除单晶炉中的积尘时容易产生安全问题。

技术实现思路

[0003]本技术实施例提供了一种单晶炉清灰装置及单晶炉,以解决相关技术中清除单晶炉中的积尘时容易产生安全问题。
[0004]为了解决上述技术问题,本技术是这样实现的:
[0005]第一方面,本技术实施例提供了一种单晶炉清灰装置,所述单晶炉清灰装置包括:驱动组件、清灰组件;
[0006]所述驱动组件与所述清灰组件连接,所述驱动组件用于驱动所述清灰组件沿所述清灰组件与所述驱动组件连接的连接方向往复运动,所述清灰组件用于对单晶炉的管道进行清灰。
[0007]可选地,所述驱动组件为电磁铁,所述清灰组件连接有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉清灰装置,其特征在于,所述单晶炉清灰装置包括:驱动组件、清灰组件;所述驱动组件与所述清灰组件连接,所述驱动组件用于驱动所述清灰组件沿所述清灰组件与所述驱动组件连接的连接方向往复运动,所述清灰组件用于对单晶炉的管道进行清灰。2.根据权利要求1所述的单晶炉清灰装置,其特征在于,所述驱动组件为电磁铁,所述清灰组件连接有电磁铁杆,所述电磁铁杆与所述电磁铁连接;在所述电磁铁与所述电磁铁杆通电的情况下,所述电磁铁杆远离所述电磁铁,所述电磁铁杆带动所述清灰组件沿第一方向移动;在所述电磁铁断电的情况下,所述电磁铁杆靠近所述电磁铁,所述电磁铁杆带动所述清灰组件沿第二方向移动;其中,所述第一方向与所述第二方向相反。3.根据权利要求1所述的单晶炉清灰装置,其特征在于,所述驱动组件为电磁铁,所述清灰组件连接有金属杆,所述电磁铁与所述金属杆活动连接;在所述电磁铁通电的情况下,所述金属杆靠近所述电磁铁,所述金属杆带动所述清灰组件沿第三方向移动;在所述电磁铁断电的情况下,所述金属杆远离所述电磁铁,所述金属杆带动所述清灰组件沿第四方向移动;其中,所述第三方向与所述第四方向相反。4.根据权利要求3所述的单晶炉清灰装置,其特征在于,所述电磁铁与所述金属杆通过弹性件连接;在所述电磁铁通电的情况下,所述金属杆靠近所述电磁铁,所述弹性件处于压缩状态;在所述电磁铁断电的情...

【专利技术属性】
技术研发人员:姚占虎张振兵贺峰
申请(专利权)人:华坪隆基硅材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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