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本实用新型实施例提供了一种单晶炉清灰装置及单晶炉。该单晶炉清灰装置包括：驱动组件、清灰组件；驱动组件与清灰组件连接，驱动组件用于驱动清灰组件沿清灰组件与驱动组件连接的连接方向往复运动，清灰组件用于对单晶炉的管道进行清灰。的管道进行清灰。的管...
该专利属于华坪隆基硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华坪隆基硅材料有限公司授权不得商用。

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