一种气体静压气浮垫及气浮导轨制造技术

本实用新型专利技术公开了一种气体静压气浮垫及气浮导轨，所述气浮垫包括：壳体、固定在壳体内的支撑块、固定在支撑块下端面上的多孔质材料层，所述支撑块内开设有进气通道、和与所述进气通道相贯通的节流通道，所述节流通道上等间距安装有若干个延伸至支撑块下端面的小孔节流器，所述支撑块的下端面上开设有凹槽以使所述支撑块与多孔质材料层的上表面之间形成气腔。通过上述方式，本实用新型专利技术采用小孔节流、多孔质材料节流相组合的节流方式，能够使气浮垫达到国际上微孔节流型气浮垫的性能指标，并且本实用新型专利技术气浮垫结构简单，制造成本低；同时本实用新型专利技术气浮垫可以应用在导轨平台上，制成气浮导轨。

【技术实现步骤摘要】
一种气体静压气浮垫及气浮导轨
本技术涉及气体静压
，特别是涉及一种气体静压气浮垫及气浮导轨。
技术介绍
气浮垫是利用气体静压轴承技术标准化的一类气浮轴承产品。气浮垫的性能取决于节流技术，如图1所示，根据节流技术来分，现有的气浮垫主要有多孔质材料节流型和微孔节流型。其中，多孔质材料节流型气浮垫，是由多孔质材料81制成的，压缩空气通过多孔质材料孔隙进行节流；多孔质材料81节流方式由于其多孔的特性，在承载面82可以近似的看作无数微孔进行节流，与传统的小孔节流相比，使得承载压力分布更均匀，从而获得更大的承载能力，并且能减小气锤、气震等现象；但是多孔质材料81由于其材料成型方式多为颗粒烧结形式，会有内部气流路径复杂，内部气体模型不好控制，稳定性、一致性较差等缺陷；且由于其外部孔隙大小依赖于材料颗粒与成型工艺，微孔直径一致性较差，可能会引起气体压力不均匀，从而会降低气浮垫的承载能力。微孔节流型气浮垫是采用机械加工的方法，在材料表面83加工一系列微型喷嘴84，微型喷嘴84的数量、形状、直径和布置方式经过精确的计算，阻尼明显高于多本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体静压气浮垫，包括：壳体(1)、固定在壳体(1)内的支撑块(2)、固定在支撑块(2)下端面上的多孔质材料层(3)，所述支撑块(2)内开设有进气通道(21)、和与所述进气通道(21)相贯通的节流通道(22)，其特征在于，所述节流通道(22)上等间距安装有若干个延伸至支撑块下端面的小孔节流器(4)，所述支撑块(2)的下端面上开设有凹槽(23)以使所述支撑块(2)与多孔质材料层(3)的上表面之间形成气腔。/n

【技术特征摘要】
1.一种气体静压气浮垫，包括：壳体(1)、固定在壳体(1)内的支撑块(2)、固定在支撑块(2)下端面上的多孔质材料层(3)，所述支撑块(2)内开设有进气通道(21)、和与所述进气通道(21)相贯通的节流通道(22)，其特征在于，所述节流通道(22)上等间距安装有若干个延伸至支撑块下端面的小孔节流器(4)，所述支撑块(2)的下端面上开设有凹槽(23)以使所述支撑块(2)与多孔质材料层(3)的上表面之间形成气腔。


2.根据权利要求1所述的气体静压气浮垫，其特征在于，所述多孔质材料层(3)的下表面上还开设有均压槽(31)。


3.根据权利要求1所述的气体静压气浮垫，其特征在于，所述小孔节流器(4)上的节流孔的孔径为35μm。


4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈万群，王斌，霍德鸿，丁辉，
申请(专利权)人：江苏集萃精凯高端装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32