一种基于棱形导轨的碳化硅加工用车床制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体加工技术领域，具体涉及是一种基于棱形导轨的碳化硅加工用车床，包括机架、主轴箱、溜板箱和尾箱，机架内部镂空且机架内对称设置有两个导轨，两个导轨之间沿导轨延伸方向设置有丝杆，丝杆一端与机架上的尾座连接，另一端与机架上的伺服电机连接，尾箱设于导轨上，并远离伺服电机，主轴箱设于导轨上，并靠近伺服电机，其中导轨为棱形导轨，导轨的棱角朝上，导轨底部设置有导轨座，导轨座上还设置有与导轨平行的辅助轨，辅助轨和导轨均与导轨座可拆卸连接，辅助轨为方形导轨。解决了现有碳化硅加工用车床导轨与机架是整体设计，在导轨出现异常是需要连同外部机架进行整体更换，大幅提高了后续维护成本的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种基于棱形导轨的碳化硅加工用车床
本技术涉及半导体加工
，具体涉及是一种基于棱形导轨的碳化硅加工用车床。
技术介绍
碳化硅是用石英砂、石油焦或煤焦、木屑生产绿色碳化硅时需要加食盐等原料通过电阻炉高温冶炼而成，其在生产后进行进一步加工需要使用到多种加工器械。公开号为CN208556000U的中国专利，公开了“一种新型车床”其使用时具有诸多有点，但是由于其导轨与机架是整体设计，在导轨出现异常是需要连同外部机架进行整体更换，大幅提高了后续维护成本。
技术实现思路
本技术针对现有碳化硅加工用车床导轨与机架是整体设计，在导轨出现异常是需要连同外部机架进行整体更换，大幅提高了后续维护成本的问题，提供一种基于棱形导轨的碳化硅加工用车床。采用的技术方案是，一种基于棱形导轨的碳化硅加工用车床包括机架、主轴箱、溜板箱和尾箱，机架内部镂空且机架内对称设置有两个导轨，两个导轨之间沿导轨延伸方向设置有丝杆，丝杆一端与机架上的尾座连接，另一端与机架上的伺服电机连接，尾箱设于导轨上，并远离伺服电机，主轴箱设于导轨上，并靠近伺服电机，溜板箱设于主轴箱和尾箱之间，并位于导轨上，溜板箱在丝杆带动下能在导轨上移动，其中导轨为棱形导轨，导轨的棱角朝上，导轨底部设置有导轨座，导轨座上还设置有与导轨平行的辅助轨，辅助轨和导轨均与导轨座可拆卸连接，辅助轨为方形导轨。进一步的，溜板箱底部设置有支撑台，支撑台底部设置有与辅助轨相贴合的第一连接座和与导轨相贴合的第二连接座。可选的，辅助轨上表面设置有第一安装槽，辅助轨通过插入第一安装槽的第一固定螺栓与导轨座可拆卸连接，第一固定螺栓底部插入导轨座内，导轨上表面设置有第二安装槽，导轨通过插入第二安装槽的第二固定螺栓与导轨座可拆卸连接，第二固定螺栓底部插入导轨座内。可选的，辅助轨位于导轨和丝杆之间，导轨座上表面远离丝杆的一部分向下倾斜，倾斜角度为5°-10°，导轨位于导轨座的倾斜面上。进一步的，第一固定螺栓和第二固定螺栓均为六角螺栓。可选的，导轨座上设置有第一蓄油槽和第二蓄油槽，第一蓄油槽位于辅助轨两侧，辅助轨的侧面设置有第一漏油槽，辅助轨上的机油能从第一漏油槽进入第一蓄油槽，第二蓄油槽位于导轨两侧，导轨位于两侧的棱形面设置有第二漏油槽，导轨上的机油能从第二漏油槽进入第二蓄油槽。本技术的有益效果至少包括以下之一；1、通过在机架内设置导轨座，并且采用棱形的导轨，较之常规方形的导轨更加易于安装在导轨座上，并且也便于加工，同时将导轨与导轨座可拆卸连接，在进行设备维修时仅需要更换损坏的导轨，大幅节省了维护周期和维护成本。2、通过在导轨座上设置辅助轨，辅助轨的高度低于导轨，对整个支撑台进行辅助固定，提高支撑台运行的安全性。3、通过在导轨和辅助轨上设置漏油槽，并且在导轨座上设置蓄油槽，连接座在导轨和辅助轨上移动时，能够将导轨槽内的机油刮至漏油槽内，并最终存储在蓄油槽内，供现场工作人员反复使用，避免了机油堆积在导轨和辅助轨的端部。4、解决了现有碳化硅加工用车床导轨与机架是整体设计，在导轨出现异常是需要连同外部机架进行整体更换，大幅提高了后续维护成本的问题。附图说明图1为一种基于棱形导轨的碳化硅加工用车床结构示意图；图2为可拆卸连接结构的结构示意图；图3为可拆卸连接结构的俯视结构示意图；图中标记为：1为机架、2为主轴箱、3为溜板箱、4为尾箱、5为伺服电机、6为尾座、7为丝杆、8为导轨、9为导轨座、10为支撑台、11为第一连接座、12为第一安装槽、13为第一固定螺栓、16为第一漏油槽、18为第一蓄油槽、19为辅助轨、20为第二固定螺栓、21为第二安装槽、22为第二连接座、23为第二漏油槽、24为第二蓄油槽。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点能够更加清晰明白，以下结合附图和实施例对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术保护内容。如图1至图3所示，一种基于棱形导轨的碳化硅加工用车床包括机架1、主轴箱2、溜板箱3和尾箱4，机架1内部镂空且机架1内对称设置有两个导轨8，两个导轨8之间沿导轨8延伸方向设置有丝杆7，丝杆7一端与机架1上的尾座6连接，另一端与机架1上的伺服电机5连接，尾箱4设于导轨8上，并远离伺服电机5，主轴箱2设于导轨8上，并靠近伺服电机5，溜板箱3设于主轴箱2和尾箱4之间，并位于导轨8上，溜板箱3在丝杆7带动下能在导轨8上移动，其特征在于：导轨8为棱形导轨，导轨8的棱角朝上，导轨8底部设置有导轨座9，导轨座9上还设置有与导轨8平行的辅助轨19，辅助轨19和导轨8均与导轨座9可拆卸连接，辅助轨19为方形导轨。使用中，通过在机架内设置导轨座，并且采用棱形的导轨，较之常规方形的导轨更加易于安装在导轨座上，并且也便于加工，同时将导轨与导轨座可拆卸连接，在进行设备维修时仅需要更换损坏的导轨，大幅节省了维护周期和维护成本。通过在导轨座上设置辅助轨，辅助轨的高度低于导轨，对整个支撑台进行辅助固定，提高支撑台运行的安全性。解决了现有碳化硅加工用车床导轨与机架是整体设计，在导轨出现异常是需要连同外部机架进行整体更换，大幅提高了后续维护成本的问题。本实施例提供了一种导轨和辅助轨与导轨座可拆卸连接的方式，其中溜溜板箱3底部设置有支撑台10，支撑台10底部设置有与辅助轨19相贴合的第一连接座11和与导轨8相贴合的第二连接座22。辅助轨19上表面设置有第一安装槽12，辅助轨19通过插入第一安装槽12的第一固定螺栓13与导轨座9可拆卸连接，第一固定螺栓13底部插入导轨座9内，导轨8上表面设置有第二安装槽21，导轨8通过插入第二安装槽21的第二固定螺栓20与导轨座9可拆卸连接，第二固定螺栓20底部插入导轨座9内。辅助轨19位于导轨8和丝杆7之间，导轨座9上表面远离丝杆7的一部分向下倾斜，倾斜角度为5°-10°，导轨8位于导轨座9的倾斜面上。这样设计的目的在于，通过将导轨设于导轨座的倾斜面上，有利于导轨与辅助轨之间形成力矩，对支撑台产生的挤压力进行分解，提高稳定性，最优的倾斜角度为7°。本实施例中，导轨座9上设置有第一蓄油槽18和第二蓄油槽24，第一蓄油槽18位于辅助轨19两侧，辅助轨19的侧面设置有第一漏油槽16，辅助轨19上的机油能从第一漏油槽16进入第一蓄油槽18，第二蓄油槽24位于导轨8两侧，导轨8位于两侧的棱形面设置有第二漏油槽23，导轨8上的机油能从第二漏油槽23进入第二蓄油槽24。使用中，在辅助轨上设置第一漏油槽、导轨上设置第二漏油槽，并且在导轨座上设置第一蓄油槽和第二蓄油槽，与辅助轨和导轨相匹配的的连接座在其上移动时，连接座上与其相贴合的部分，能够将其表面的机油刮至各自的漏油槽内，然后顺着漏油槽最终流入蓄油槽内进行存储，供现场工作人员反复使用，避免了机油堆积在导轨的端部。本领域技术人员在安装导轨和/或辅助轨时，可以选用多个导轨和/或辅本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于棱形导轨的碳化硅加工用车床，包括机架（1）、主轴箱（2）、溜板箱（3）和尾箱（4），所述机架(1)内部镂空且机架(1)内对称设置有两个导轨(8)，两个所述导轨（8）之间沿导轨（8）延伸方向设置有丝杆（7），所述丝杆（7）一端与机架(1)上的尾座（6）连接，另一端与机架(1)上的伺服电机（5）连接，所述尾箱（4）设于导轨（8）上，并远离伺服电机（5），所述主轴箱（2）设于导轨（8）上，并靠近伺服电机（5），所述溜板箱（3）设于主轴箱（2）和尾箱（4）之间，并位于导轨（8）上，溜板箱（3）在丝杆（7）带动下能在导轨（8）上移动，其特征在于：所述导轨（8）为棱形导轨，导轨（8）的棱角朝上，导轨（8）底部设置有导轨座（9），所述导轨座（9）上还设置有与导轨（8）平行的辅助轨（19），所述辅助轨（19）和导轨（8）均与导轨座（9）可拆卸连接，辅助轨（19）为方形导轨。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于棱形导轨的碳化硅加工用车床，包括机架（1）、主轴箱（2）、溜板箱（3）和尾箱（4），所述机架(1)内部镂空且机架(1)内对称设置有两个导轨(8)，两个所述导轨（8）之间沿导轨（8）延伸方向设置有丝杆（7），所述丝杆（7）一端与机架(1)上的尾座（6）连接，另一端与机架(1)上的伺服电机（5）连接，所述尾箱（4）设于导轨（8）上，并远离伺服电机（5），所述主轴箱（2）设于导轨（8）上，并靠近伺服电机（5），所述溜板箱（3）设于主轴箱（2）和尾箱（4）之间，并位于导轨（8）上，溜板箱（3）在丝杆（7）带动下能在导轨（8）上移动，其特征在于：所述导轨（8）为棱形导轨，导轨（8）的棱角朝上，导轨（8）底部设置有导轨座（9），所述导轨座（9）上还设置有与导轨（8）平行的辅助轨（19），所述辅助轨（19）和导轨（8）均与导轨座（9）可拆卸连接，辅助轨（19）为方形导轨。


2.根据权利要求1所述的一种基于棱形导轨的碳化硅加工用车床，其特征在于：所述溜板箱（3）底部设置有支撑台（10），所述支撑台（10）底部设置有与辅助轨（19）相贴合的第一连接座（11）和与导轨（8）相贴合的第二连接座（22）。


3.根据权利要求2所述的一种基于棱形导轨的碳化硅加工用车床，其特征在于：所述辅助轨（19）上表面设置有第一安装槽（12），辅助轨（19）通过插入...

【专利技术属性】
技术研发人员：马红彬，宛鹏，
申请(专利权)人：河南雅利安新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41