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本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及是一种基于棱形导轨的碳化硅加工用车床，包括机架、主轴箱、溜板箱和尾箱，机架内部镂空且机架内对称设置有两个导轨，两个导轨之间沿导轨延伸方向设置有丝杆，丝杆一端与机架上的尾座连接，另一端与机架上的伺服电...
该专利属于河南雅利安新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南雅利安新材料有限公司授权不得商用。

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