一种高精度微动平台制造技术

本实用新型专利技术涉及控制领域，具体涉及一种高精度微动平台；包括顶部的安装平台与底部的底座，安装平台与底座之间设有RY轴旋转平台、RZ轴旋转平台、Z轴升降平台、Y轴平移平台及X轴平移平台，RY轴旋转平台与Z轴升降平台相连，Z轴升降平台通过RZ轴旋转平台与Y轴平移平台相连，Y轴平移平台与X轴平移平台相连，所述RY轴旋转平台可实现绕Y轴旋转角度，本实用新型专利技术微动平台属于一种纯机械结构的微动平台，环境适应性强，可靠性高，精度高，本实用新型专利技术微动平台属于一种纯机械结构的微动平台，环境适应性强，可靠性高，精度高，可以精确的调节X轴、Y轴、Z轴三个方向的位移和绕Z轴方向、绕Y轴方向旋转角度变化。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度微动平台
本技术涉及控制领域，具体涉及一种高精度微动平台。
技术介绍
随着科学技术的不断发展，远程检测和定位技术已经广泛的应用于各个领域，这就对所应用的设备精度要求进一步提高。目前，市场上高精度微动平台绝大部分以电控为主，电控设备的缺点和优势都比较鲜明，对所使用的环境要求比较高，这就约束了电控设备的适用范围。
技术实现思路
针对现有技术中提到的问题，本技术的目的在于一种纯机械的、不受使用环境因素影响，具有控制精度高，可靠性高，并且控制稳定的高精度微动平台。本技术一种高精度微动平台，包括顶部的安装平台与底部的底座，安装平台与底座之间设有RY轴旋转平台、RZ轴旋转平台、Z轴升降平台、Y轴平移平台及X轴平移平台，RY轴旋转平台与Z轴升降平台相连，Z轴升降平台通过RZ轴旋转平台与Y轴平移平台相连，Y轴平移平台与X轴平移平台相连，所述RY轴旋转平台可实现绕Y轴旋转角度，RZ轴旋转平台可实现绕Z轴旋转角度，X轴平移平台、Y轴平移平台、Z轴升降平台可分别实现分别沿X轴、Y轴、Z轴移动，通过多个平台相配合从而实现安装平台的位移本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度微动平台，其特征在于，包括顶部的安装平台与底部的底座，安装平台与底座之间设有RY轴旋转平台、RZ轴旋转平台、Z轴升降平台、Y轴平移平台及X轴平移平台，RY轴旋转平台与Z轴升降平台相连，Z轴升降平台通过RZ轴旋转平台与Y轴平移平台相连，Y轴平移平台与X轴平移平台相连，所述RY轴旋转平台可实现绕Y轴旋转角度，RZ轴旋转平台可实现绕Z轴旋转角度，X轴平移平台、Y轴平移平台、Z轴升降平台可分别实现分别沿X轴、Y轴、Z轴移动，通过多个平台相配合从而实现安装平台的位移变化与角度变化。/n

【技术特征摘要】
1.一种高精度微动平台，其特征在于，包括顶部的安装平台与底部的底座，安装平台与底座之间设有RY轴旋转平台、RZ轴旋转平台、Z轴升降平台、Y轴平移平台及X轴平移平台，RY轴旋转平台与Z轴升降平台相连，Z轴升降平台通过RZ轴旋转平台与Y轴平移平台相连，Y轴平移平台与X轴平移平台相连，所述RY轴旋转平台可实现绕Y轴旋转角度，RZ轴旋转平台可实现绕Z轴旋转角度，X轴平移平台、Y轴平移平台、Z轴升降平台可分别实现分别沿X轴、Y轴、Z轴移动，通过多个平台相配合从而实现安装平台的位移变化与角度变化。


2.根据权利要求1所述一种高精度微动平台，其特征在于，所述RY轴旋转平台还包括RY轴楔形块、固定块、第一微调丝杠、第一锁定螺钉、及第一复位弹簧，所述RY轴旋转平台上开设有旋转调节缝，旋转调节缝底部设有第一燕尾槽，第一燕尾槽底部设有第一导轨，其中，第一燕尾槽两端均设有固定块，其第一燕尾槽还与形状匹配的RY轴楔形块相连，第一微调丝杠与RY轴楔形块相连时通过第一复位弹簧相连，第一锁定螺钉与RY轴旋转平台一端相连。


3.根据权利要求2所述一种高精度微动平台，其特征在于，所述Z轴升降平台还包括Z轴楔形块、第二锁定螺钉、第二微调丝杠及第二复位弹簧，所述Z轴升降平台上开设有第二燕尾槽，第二燕尾槽两端还设有第一沉槽，其中，第二燕尾槽与第一导轨匹配相连，Z轴楔形块穿过第一沉槽与第一导轨相配合，第二微调丝杠与Z轴楔形块相连，所述第二复位弹簧设置在第二燕尾槽与第一导轨之间，第二锁定螺钉与Z轴升降平台一端相连。


4.根据权利要求3所述一种高精度微动平台，其特征在于，所述RZ轴旋转平台安装在Y轴平移平台之中，还包...

【专利技术属性】
技术研发人员：马进，卢鹏俊，郭彦彪，张波，田景志，
申请(专利权)人：西安轻工业钟表研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61