温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及控制领域,具体涉及一种高精度微动平台;包括顶部的安装平台与底部的底座,安装平台与底座之间设有RY轴旋转平台、RZ轴旋转平台、Z轴升降平台、Y轴平移平台及X轴平移平台,RY轴旋转平台与Z轴升降平台相连,Z轴升降平台通过RZ轴旋转...该专利属于西安轻工业钟表研究所有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安轻工业钟表研究所有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及控制领域,具体涉及一种高精度微动平台;包括顶部的安装平台与底部的底座,安装平台与底座之间设有RY轴旋转平台、RZ轴旋转平台、Z轴升降平台、Y轴平移平台及X轴平移平台,RY轴旋转平台与Z轴升降平台相连,Z轴升降平台通过RZ轴旋转...