压力控制方法和装置、光伏设备制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种压力控制方法和装置、光伏设备，该方法包括以下步骤：S1、实时检测源瓶的压力和气体流量，以获得压力值和气体流量值；S2、基于压力值和气体流量值在单位时间内的波动情况，确认数据模式；S3、根据单位时间内获得的压力值和气体流量值，采用确认出的数据模式和智能计算模型进行计算，以获得调整因子；S4、基于调整因子，对用于计算压力输出值的预设控制算法所使用的控制系数进行修正，以获得新控制系数；S5、采用预设控制算法并使用新控制系数计算获得压力输出值，并输出至被控对象。本发明专利技术实施例提供的压力控制方法和装置、光伏设备，能够快速、精确地控制源瓶的压力，减少压力波动对工艺的影响，提高压力控制的响应速度。

【技术实现步骤摘要】
压力控制方法和装置、光伏设备
本专利技术涉及光伏
，具体地，涉及一种压力控制方法和装置、光伏设备。
技术介绍
近年来，全球光伏设备行业实现稳健增长，太阳能电池扩散作为光伏领域的核心工艺，主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式。其中，闭管软着陆扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰，工艺质量完全受保护。如图1所示，光伏扩散炉包括扩散炉管1、源瓶2、第一进气管路3、第二进气管路4、流量调节阀5、压力调节阀6和真空泵7，其中，源瓶2中用于盛放工艺气体源(例如磷源、硼源等)第一进气管路3的两端分别与源瓶2的出气端与扩散炉管1连接；第二进气管路4与源瓶2的进气端连接，用以向源瓶2中输送携带气体(例如氮气)；流量调节阀5设置在第一进气管路3上，用于调节输送至源瓶2中的携带气体的流量；压力调节阀6设置在第二进气管路4上，用于控制压力调节阀6调节源瓶2的压力。目前，如何精确快速的控制源瓶2的压力，以使其与压力设定值趋于一致，成为了一个亟待解决的核心技术问题。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种压力控制方法和装置、光伏设备，其能够快速、精确地控制源瓶的压力，以使其与压力设定值趋于一致，从而不仅可以最大限度地减少压力波动对工艺的影响，而且可以提高压力控制的响应速度。为实现上述目的，本专利技术提供了一种压力控制方法，用于控制光伏设备的源瓶的压力，包括以下步骤：S1、实时检测所述源瓶的压力和气体流量，以获得压力值和气体流量值；S2、基于所述压力值和气体流量值在单位时间内的波动情况，确认数据模式，所述数据模式包括压力波动而流量固定的模式，和流量波动而压力固定的模式；S3、根据所述单位时间内获得的所述压力值和气体流量值，采用确认出的所述数据模式和预设的智能计算模型进行计算，以获得调整因子；S4、基于所述调整因子，对用于计算压力输出值的预设控制算法所使用的控制系数进行修正，以获得新控制系数；S5、采用所述预设控制算法并使用所述新控制系数计算获得压力输出值，并输出至被控对象。可选的，所述智能计算模型包括神经网络计算模型。可选的，所述步骤S3包括：S31、根据所述单位时间内获得的所述压力值和气体流量值，以及预先设定的所述调整因子的表达式中压力权重因子和流量权重因子的初始值，采用确认出的所述数据模式和所述智能计算模型进行计算，以获得所述压力权重因子和流量权重因子的修正值；S32、将所述调整因子的表达式中的所述压力权重因子和流量权重因子的数值替换为所述修正值，以获得修正后的所述调整因子。可选的，所述步骤S31，包括：S311、计算所述压力输出值与所述压力设定值的误差；S312、基于所述误差、所述单位时间内获得的所述压力值和气体流量值，以及预先设定的所述调整因子的表达式中压力权重因子和流量权重因子的初始值，采用确认出的所述数据模式和所述智能计算模型进行计算，以获得所述压力权重因子和流量权重因子的修正值；所述修正值满足：使所述误差趋近于最小误差值。可选的，在所述步骤S311中，所述误差满足下述函数：其中，x为由所述单位时间内获得的所述压力值和气体流量值构成的输入向量；y(x)为所述压力输出值；ps为所述压力设定值；n为所述单位时间内的所述压力输出值的数量。可选的，所述步骤S4包括：S41、计算所述调整因子与所述控制系数的乘积；S42、将所述乘积作为所述新控制系数。可选的，在所述步骤S1中，实时检测所述源瓶的靠近其输入端或输出端处的管路中的压力，以及所述源瓶的靠近其输入端处的管路中的气体流量。作为另一个技术方案，本专利技术实施例还提供一种压力控制装置，用于控制光伏设备中的源瓶的压力,包括：数据检测单元，用于实时检测所述源瓶的压力和气体流量，以获得压力值和气体流量值；模式确认单元，用于基于所述压力值和气体流量值在单位时间内的波动情况，确认数据模式，所述数据模式包括压力波动而流量固定的模式，和流量波动而压力固定的模式；计算单元，用于根据所述单位时间内获得的所述压力值和气体流量值，采用确认出的所述数据模式和所述智能计算模型进行计算，以获得调整因子；修正单元，用于基于所述调整因子，对用于计算压力输出值的预设控制算法所使用的控制系数进行修正，以获得新控制系数；控制单元，用于采用所述预设控制算法并使用所述新控制系数计算获得压力输出值，并输出至被控对象。可选的，所述计算单元还用于计算所述压力输出值与所述压力设定值的误差；基于所述误差、所述单位时间内获得的所述压力值和气体流量值，以及预先设定的所述调整因子的表达式中压力权重因子和流量权重因子的初始值，采用确认出的所述数据模式和所述智能计算模型进行计算，以获得所述压力权重因子和流量权重因子的修正值；所述修正值满足：使所述误差趋近于最小误差值。作为另一个技术方案，本专利技术实施例还提供一种光伏设备，包括反应腔室、源瓶、第一进气管路、第二进气管路、流量调节阀和压力调节阀，其中，所述第一进气管路的两端分别与所述源瓶的出气端与所述反应腔室连接；所述第二进气管路与所述源瓶的进气端连接，用以向所述源瓶中输送携带气体；所述流量调节阀设置在所述第一进气管路上；所述压力调节阀设置在所述第二进气管路上，还包括本专利技术实施例提供的上述压力控制装置，用于控制所述压力调节阀调节所述源瓶的压力，以使其与所述压力设定值趋于一致。本专利技术的有益效果：本专利技术实施例提供的压力控制方法和装置的技术方案中，源瓶压力波动主要由压力波动和气体流量波动这两个因素引起的，基于此，实时检测源瓶的压力和气体流量，并基于其在单位时间内的波动情况确认数据模式，该数据模式包括压力波动而流量固定的模式，和流量波动而压力固定的模式；然后，采用确认出的数据模式和智能计算模型进行计算，以获得调整因子，并基于该调整因子对预设控制算法所使用的控制系数进行修正。通过进行上述模式确认，并利用确认出的数据模式和智能计算模型修正控制系数，可以快速、精确地控制源瓶的压力，以使其与压力设定值趋于一致，从而不仅可以最大限度地减少压力波动对工艺的影响，而且可以提高压力控制的响应速度。本专利技术提供的光伏设备，其通过采用本专利技术提供的上述压力控制装置，可以快速、精确地控制源瓶的压力，以使其与压力设定值趋于一致，从而不仅可以最大限度地减少压力波动对工艺的影响，而且可以提高压力控制的响应速度。附图说明图1为光伏扩散炉的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的压力控制方法的流程框图；图3为本专利技术实施例提供的压力控制装置的原理框图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图对本专利技术提供的压力控制方法和装置、光伏设备进行详细描述。本专利技术实施例提供的压力控制方法，用于控制光伏设备的源瓶的压力，以使其能够与压力设定值趋于一致，以最大限度地减少压力波动对工艺的影响。下面以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力控制方法，用于控制光伏设备的源瓶的压力，其特征在于，包括以下步骤：/nS1、实时检测所述源瓶的压力和气体流量，以获得压力值和气体流量值；/nS2、基于所述压力值和气体流量值在单位时间内的波动情况，确认数据模式，所述数据模式包括压力波动而流量固定的模式，和流量波动而压力固定的模式；/nS3、根据所述单位时间内获得的所述压力值和气体流量值，采用确认出的所述数据模式和预设的智能计算模型进行计算，以获得调整因子；/nS4、基于所述调整因子，对用于计算压力输出值的预设控制算法所使用的控制系数进行修正，以获得新控制系数；/nS5、采用所述预设控制算法并使用所述新控制系数计算获得压力输出值，并输出至被控对象。/n

【技术特征摘要】
1.一种压力控制方法，用于控制光伏设备的源瓶的压力，其特征在于，包括以下步骤：
S1、实时检测所述源瓶的压力和气体流量，以获得压力值和气体流量值；
S2、基于所述压力值和气体流量值在单位时间内的波动情况，确认数据模式，所述数据模式包括压力波动而流量固定的模式，和流量波动而压力固定的模式；
S3、根据所述单位时间内获得的所述压力值和气体流量值，采用确认出的所述数据模式和预设的智能计算模型进行计算，以获得调整因子；
S4、基于所述调整因子，对用于计算压力输出值的预设控制算法所使用的控制系数进行修正，以获得新控制系数；
S5、采用所述预设控制算法并使用所述新控制系数计算获得压力输出值，并输出至被控对象。


2.根据权利要求1所述的压力控制方法，其特征在于，所述智能计算模型包括神经网络计算模型。


3.根据权利要求1所述的压力控制方法，其特征在于，所述步骤S3包括：
S31、根据所述单位时间内获得的所述压力值和气体流量值，以及预先设定的所述调整因子的表达式中压力权重因子和流量权重因子的初始值，采用确认出的所述数据模式和所述智能计算模型进行计算，以获得所述压力权重因子和流量权重因子的修正值；
S32、将所述调整因子的表达式中的所述压力权重因子和流量权重因子的数值替换为所述修正值，以获得修正后的所述调整因子。


4.根据权利要求3所述的压力控制方法，其特征在于，所述步骤S31，包括：
S311、计算所述压力输出值与所述压力设定值的误差；
S312、基于所述误差、所述单位时间内获得的所述压力值和气体流量值，以及预先设定的所述调整因子的表达式中压力权重因子和流量权重因子的初始值，采用确认出的所述数据模式和所述智能计算模型进行计算，以获得所述压力权重因子和流量权重因子的修正值；所述修正值满足：使所述误差趋近于最小误差值。


5.根据权利要求4所述的压力控制方法，其特征在于，在所述步骤S311中，所述误差满足下述函数：



其中，x为由所述单位时间内获得的所述压力值和气体流量值构成的输入向量；y(x)为所述压力输出值；ps为所述压力设定值；n为所述单位时间内的所述压力输出值的数量。

【专利技术属性】
技术研发人员：郑文宁，赵迪，陈正堂，
申请(专利权)人：北京七星华创流量计有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11