【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种电容式气压传感器，特别是一种差动电容式气压传感器，适用于气象及航空领域中地面至30公里高度范围内的大气压力、飞行高度等参数的测量。当前在气象、航空领域中测量地面至30公里高度范围内的大气压力、飞行高度等参数已经采用真空膜片(盒)电容传感器，如芬兰Vaisala公司研制的差动电容式传感器，就是在真空膜盒内安置一组平板电容器，其两个极片分别用金属棒与它对面的真空膜片相连接，再分别通过专门设计的密封绝缘子引出盒外。其结构比较复杂，而且其膜片为偏心波纹膜片，需采用专用工艺装备加工的阴模液压而成，对两个极片的定位要求也很高，加工工艺复杂，难度大，成品率低，成本较高。此外，其电容量的变化与气压的变化呈近似线性关系，在1050-10hpa范围内电容变量为5pf，150-10hpa范围内的灵敏度为8.75hpa/0.1pf。本技术的目的就是为了克服上述缺点，提供一种结构简单、体积小、重量轻、测量灵敏度高的差动电容式气压传感器。本技术的目的是这样实现的将偏心波纹膜片改制成同心波纹膜片，并将真空腔内的动片由芯棒穿过定片和绝缘基片中心孔与同心波纹膜片成刚性连接，动片与定片组成一组平板电容，但两极片配合精度要求不高，只需在组装焊接前保持一定的间隙且两极片不导通即可，这样就能提高灵敏度；而同心波纹膜片可用普通车床加工，加工容易，成品率高，整个传感器的结构也很简单，成本低，灵敏度高。现结合附图对本技术一实施例进行进一步说明附图说明图1为本技术纵截面的结构剖视图。由图可知，本技术由定片1、动片2、波纹膜片3、绝缘基片4及绝缘密封罩5所组成。首先在陶瓷绝缘基片4上印制...
【技术保护点】
一种电容式气压传感器，包括有定片１、动片２、波纹膜片３、绝缘基片４、绝缘密封罩５，其特征在于定片１印制在绝缘基片４上，动片２位于绝缘密封罩５一侧，其中心通过芯棒６穿过绝缘基片４的中心孔与波纹膜片３刚性连接，且波纹膜片３、绝缘基片４与绝缘密封罩５采用周边密封焊接并形成真空腔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：苏守义，
申请(专利权)人：上海无线电二十三厂，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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