电容式气压传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种电容式气压传感器，其主要特征是其定片印制在绝缘基片上，动片与波纹膜片焊成一体，波纹膜片与绝缘基片采用周边密封焊接并形成真空腔，在该真空腔内的定片与动片组成平板电容，因而电容变量不受外界气压和湿度变化的影响。还可通过调整波纹膜片的变形特性，使得随着气压的降低，电容量变化愈来愈大，测量灵敏度愈来愈高，适于高空测量气压和飞行高度。（*该技术在2006年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种电容式气压传感器，特别是一种内电容式气压传感器，适用于气象及航空领域中地面至30公里高度范围内的大气压力、飞行高度等参数的测量。现在采用的内电容式气压传感器为真空膜盒内电容式气压传感器，如美国AIR从司研制的数字式气压传感器，就是在一块陶瓷基片的两面印有圆形金属图案作为平板电容器的定片，再在印有图案的陶瓷基片的两面分别焊接金属平膜片作为平板电容器的动片，形成二组并联的平板电容器，该两片金属平膜片形成一真空膜盒。这种传感器的结构虽简单，但其电容变量较小，总量仅为5pf，在150-10hpa范围内其灵敏度仅为46.7hpa/0.1pf。本技术的目的就是为了提供一种既结构简单、且电容量变化大、灵敏度高的内电容式气压传感器。本技术的目的是这样实现的充分利用平板电容器的电容量与极片间距离的平方成反比的特性，尽量缩小两极片之间的距离并增大两极片的面积以及改变波纹膜片特性以增大电容变量，来提高其测试灵敏度。以下结合附图对本技术一实施例进行详细说明附图说明图1为本技术纵截面的结构剖视图。由图可知，本技术包括有定片1、动片2、波纹膜片3、绝缘基片4。首先在陶瓷绝缘基片4上印制出银合本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电容式气压传感器，包括有定片１、动片２、波纹膜片３、绝缘基片４，其特征在于定片１印制在绝缘基片４上，动片２设置在靠波纹膜片３内侧，波纹膜片３与绝缘基片４采用周边密封焊接成一真空腔，定片１与动片２组成一组平板电容。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：苏守义，
申请(专利权)人：上海无线电二十三厂，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]