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电容式气压传感器制造技术
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文档序号:2563546
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本实用新型涉及一种电容式气压传感器,其主要特征是其定片印制在绝缘基片上,动片与波纹膜片焊成一体,波纹膜片与绝缘基片采用周边密封焊接并形成真空腔,在该真空腔内的定片与动片组成平板电容,因而电容变量不受外界气压和湿度变化的影响。还可通过调整波纹...
该专利属于上海无线电二十三厂所有,仅供学习研究参考,未经过上海无线电二十三厂授权不得商用。
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