一种多晶硅还原尾气中硅粉的回收利用系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种多晶硅还原尾气中硅粉的回收利用系统及方法，该回收利用系统包括依次连接的主过滤器和残液过滤器，所述残液过滤器的硅粉出口连接有氮化炉，氮化炉的出口连接研磨器。本发明专利技术通过主过滤器和残液过滤器的配合过滤，提高残液过滤器内烘干液体的固含量，不仅可以减少烘干能耗，而且可以加强烘干效果。相对现有的硅渣回收方法，本发明专利技术方法中分离出的硅粉表面基本无硅烷残留，活性高，可直接入氮化炉用于氮化硅粉的制作，回收利用价值高。本发明专利技术能耗低，烘干效果好，出过滤器的硅粉活性高，可直接回用，同时将价值低的硅粉变成了附加值更高的氮化硅产品，提高了多晶硅还原反应副产物的经济价值。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅还原尾气中硅粉的回收利用系统及方法
本专利技术涉及多晶硅生产
，具体涉及一种多晶硅还原尾气中硅粉的回收利用系统及方法。
技术介绍
多晶硅是集成电路和光伏发电所采用的关键原材料，是国家新能源开发所必须的原材料。在当下化石能源日益短缺的时代，新型能源的崛起已成为必然趋势。在我国的多晶硅生产过程中，90％的多晶硅生产企业都采用改良西门子法多晶硅生产工艺进行多晶硅的生产，同时采用CDI装置(即尾气干法回收装置)对还原装置产生的尾气(即还原尾气)进行回收处理。具体为，对还原尾气中的氢气及氯硅烷进行分离处理，然后除掉CDI装置分离出来的氢气中含有的杂质，并使其重复进入还原装置中，用于生产使用；将CDI装置分离出来的氯硅烷输送到精馏装置，以将四氯化硅分离出来，并输送至冷氢化或热氢化装置中作为原料，重新生产出三氯氢硅，然后送入还原装置中参与还原反应，而从精馏装置分离出来的三氯氢硅及二氯二氢硅则直接送入还原装置中参与还原反应，以生产多晶硅。在改良西门子法中，用氢气还原三氯氢硅的过程中，由于温度、配比以及三氯氢硅所携带的二氯二氢硅的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅还原尾气中硅粉的回收利用系统，其特征在于：包括依次连接的主过滤器和残液过滤器，所述主过滤器包括圆筒状的主过滤筒体和与主过滤筒体连接的锥形出料筒以及用于密封主过滤筒体顶部的弧形封板，所述主过滤筒体内设置有数组滤芯，主过滤筒体下部设置进料口，弧形封板上设置出料口、反冲洗口和排空口，锥形出料筒底部设置排渣口；所述残液过滤器包括包括圆筒状的残液过滤筒体和与残液过滤筒体连接的锥形残液出料筒以及用于密封残液过滤筒体顶部的弧形盖板，所述残液过滤筒体和锥形残液出料筒外设置有夹套，所述锥形残液出料筒筒壁上设置残液进料口，所述锥形残液出料筒底部设置硅粉出口，所述残液过滤筒体内设置有数条滤袋，每条滤袋...

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原尾气中硅粉的回收利用系统，其特征在于：包括依次连接的主过滤器和残液过滤器，所述主过滤器包括圆筒状的主过滤筒体和与主过滤筒体连接的锥形出料筒以及用于密封主过滤筒体顶部的弧形封板，所述主过滤筒体内设置有数组滤芯，主过滤筒体下部设置进料口，弧形封板上设置出料口、反冲洗口和排空口，锥形出料筒底部设置排渣口；所述残液过滤器包括包括圆筒状的残液过滤筒体和与残液过滤筒体连接的锥形残液出料筒以及用于密封残液过滤筒体顶部的弧形盖板，所述残液过滤筒体和锥形残液出料筒外设置有夹套，所述锥形残液出料筒筒壁上设置残液进料口，所述锥形残液出料筒底部设置硅粉出口，所述残液过滤筒体内设置有数条滤袋，每条滤袋出口与滤清液管连通，滤清液管出口连接出料管，出料管两端设置滤清液出口和反吹口，所述残液过滤筒体上部设置有溢流放空口，所述夹套上设置有蒸汽进口和蒸汽出口；
所述残液过滤器的硅粉出口连接有氮化炉，氮化炉的出口连接研磨器。


2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原尾气中硅粉的回收利用系统，其特征在于：所述主过滤器的弧形封板上设置有备用口。


3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原尾气中硅粉的回收利用系统，其特征在于：所述残液过滤器的硅粉出口上设置有氮气进口。


4.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原尾气中...

【专利技术属性】
技术研发人员：冉祎，王琴，罗轩，曹建明，
申请(专利权)人：四川永祥多晶硅有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51