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本发明公开了一种多晶硅还原尾气中硅粉的回收利用系统及方法，该回收利用系统包括依次连接的主过滤器和残液过滤器，所述残液过滤器的硅粉出口连接有氮化炉，氮化炉的出口连接研磨器。本发明通过主过滤器和残液过滤器的配合过滤，提高残液过滤器内烘干液体的固...
该专利属于四川永祥多晶硅有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川永祥多晶硅有限公司授权不得商用。

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