【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种压力传感器及其安装方法,该传感器用于检测输入应变仪反端的流体压力,本专利技术涉及的压力传感器尤其适用于控制传动系统或悬挂系统的流体压力,并同样适于控制施工机械的运行。现有的传统式压力传感器,其结构是将外壳密封在一个玻璃托架上,这个托架通过阳极焊接固定在半导体应变仪上。例如,这种传感器曾于1972年10月10日以“半导体压力传感器结构”为标题在美国专利第3,697,919号上公布。在该项先有技术中,玻璃托架是用楔形密封垫与外壳密封的,其方法是用楔形密封垫的楔形内壁固定玻璃托架,这个密封垫是面对着外壳的楔形内壁的。楔形密封垫的楔形内壁必须沿着它的轴线方向加长。因为,如果楔形密封垫的楔形内壁偏短的话,测量压力所导致的应力集中作用于外壳内壁的小块面积上。半导体应变仪必须和楔形密封垫的楔形内壁离开,以避免器壁的固定应力。因此,该先有技术的玻璃托架沿轴线方向采取了长结构。本专利技术的目的是提供一个小型压力传感器及其安装方法。本专利技术的特点是,安装在半导体应变仪上的玻璃基座,或称玻璃托架是采用玻璃熔合方法由玻璃基座底部的管形金属构件支撑的,并且,管形金属构件的凸缘是靠塑性流质加工的方法使用金属箍体固定在外壳上的。根据本专利技术,由于使用玻璃熔合方法将管形金属构件固定在玻璃基座的底部,所以不必使用先有技术中展示的长结构玻璃基座,即可避免由测量压力引起的对外壳的集中压力和对半导体应变仪的集中压力。因此,本专利技术能够达到其预定目的。图1是根据本专利技术展示的压力传感器的局部剖面正视图,图2的剖面图展示了固定应变器部分的详图。参看图1,压力传感器10有一金属 ...
【技术保护点】
压力传感器包括,一个通过压力输入孔引入测量压力的外壳;一个封闭在所述外壳中,并被压力测量孔贯穿的玻璃基座;以及一个覆盖在所述压力测量孔一边上,并以阳极焊接技术固定于所述玻璃基座一端的应变仪;其特征在于还包括一个由玻璃熔合方法连接在所述玻 璃基座另一端的管形金属构件,以及一个固定于所述外壳的所述管形金属构件上的凸缘。
【技术特征摘要】
1.压力传感器包括,一个通过压力输入孔引入测量压力的外壳;一个封闭在所述外壳中,并被压力测量孔贯穿的玻璃基座;以及一个覆盖在所述压力测量孔一边上,并以阳极焊接技术固定于所述玻璃基座一端的应变仪;其特征在于还包括一个由玻璃熔合方法连接在所述玻璃基座另一端的管形金属构件,以及一个固定于所述外壳的所述管形金属构件上的凸缘。2.根据权利要求1所定义的压力传感器,其特征在于,所述外壳具有一个在所述外壳的内圆周表面上形成的容座台,用于安装所述凸缘;还具有一个使用所述箍的塑性流质加工技术而固定在所述容座台的内圆周表面上的金属箍,该金属箍将所述凸缘夹在所述箍与所述容座台表面之间。3.根据权利要求1所定义的压力传感器,其特征在于,所述管形金属构件由铁-镍-钴合金制成。4.根据权利要求1所定义的压力传感器;其特征在于,所述玻璃基座由硼硅酸玻璃制成。5.根据权利要求2所定义的压力传感器,其特征在于,所述外壳由钢制成,而所述箍由铜制成。6.根据权利要求2所定义的压力传感器,其特征在于,所述箍被固定在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:武田诚次郎,市川范男,鹤冈一广,
申请(专利权)人:株式会社日立制作所,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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