具有改善了误差补偿的过程压力测量装置制造方法及图纸

一种用于改善了过程压力测量的误差补偿装置和方法。该装置和方法能够补偿膜片的形变（偏移）和存在于过程野外环境中的介电常数的变化。所述的过程压力传感器（５６）充有介电填充流体（９５），它包括环绕膜片（１０２）放置的至少三个电容器（１４４、１４６、１４８、１５０）。至少两个电容极板（１４４、１４６）位于传导性膜片的一侧，而在该膜片（１０２）的另一侧放置一个电容极板（１４８、１５０）。该方法用以补偿膜片偏移和填充流体（９５）的介电常数的变化。压力差误差补偿测量是所测的中心区域（１４０）处的膜片形变量减去所测的边缘区域（１９４）处的膜片形变量的函数。测量膜片形变的一种方法是测量该膜片每侧的两个电容器的电容变化，把所得的值相加，从而得到表示所施加压力差的误差补偿输出值（Ｒ）。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有改善误差补偿的过程压力测量装置。一般性定义，本文中所用的“过程变量”一词指物质的物理或化学状态或能量转换。例如，过程变量包括压力、温度、流量、传导性、PH值以及其它特性。所用的“过程检测”一词指获取建立过程量量级的信息。压力被认为是一个基本过程变量，在进行流量(两个压力差)、梯度(level)(前或后压力)、甚至温度(热系统中的流体压力)检测中利用它。在许多压力传感器中，感应元件是一种电容传感器，它包括一个可形变的感应膜片(膜片)和两个电容电极。第一类感应元件包括一个膜片和分别位于该膜片两侧的两个电容电极，所述的膜片是一种相应于施加在该膜片两侧的随压力而变形的传导性弹性膜片。在电容板和膜片之间使用介电填充流体。由于有时候过程流体会变涩、腐蚀、弄脏或被玷污，所以需要使所述的填充流体同与该过程流体相接触的隔膜一起使用，以使该过程流体不与感应元件相互作用和避免可能引起的组件损坏。位于膜片一侧的第一电容电极与该传导性膜片一起形成第一电容器。位于膜片另一侧的第二电容电极与该传导性膜片一起形成第二电容器。每个电容器的电容与电容板和膜片之间距离成反比，所以，每个电容器的电容本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压力传感器，所述压力传感器包括： 一个具有第一内壁和第二内壁的腔体，所述第二内壁通常与所述第一内壁相对，所述第一和第二内壁限定一个内腔； 一个具有传导区的可形变膜片，所述膜片在所述第一和第二内壁间与所述腔体相连，所述膜片把所述内腔分成第一腔和第二腔； 其中所述第一腔由所述第一内壁和所述膜片限定，所述第二腔通常与所述第一腔相对，且由所述第二内壁和所述膜片限定； 其中所述的第一和第二腔中都盛装有一种介电填充流体，所采用的填充流体都接受一个压力，并对所述膜片施加相应的力，所述膜片相应于所述第一和第二腔中填充流体所接受到的压力差产生形变； 其中所述第一内壁包括一个边缘...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：罗杰L弗里克，小斯坦利E鲁德，戴维A布鲁登，
申请(专利权)人：罗斯蒙德公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]