改进的加热压力传感器总成制造技术

一种压力传感器总成，包括：　　　　（Ａ）一个限定一内腔的封闭件；　　　　（Ｂ）一个压力传感元件，它设置于所述内腔的一部分中，并包括一接纳气体或蒸汽的输入口，用于在该输入口处检测该气体或蒸汽的压力，该压力作为一参数值的函数，该参数值按该输入口处该气体或蒸汽的压力而变化；　　　　（Ｃ）一个控制单元，它设置于所述内腔的另一部分中，包括信号状态装置，用来检测该参数值并响应于该参数值产生代表所述输入口处压力的一个输出信号；该控制单元包括第一控制装置，用来将所述传感元件控制在第一预选温度，以及该控制单元包括第二控制装置，用来将所述控制单元控制在第二预选温度，第二预选温度不同于第一预选温度。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般涉及压力传感器总成，特别是涉及具有改进的热特性的压力传感器总成。
技术介绍
已知的各种蒸汽沉积工艺例如在半导体产品生产过程中是有用的。这些工艺一般用于在一基底上沉积极薄层的、包括导体、半导体和绝缘材料的各种物质。蒸汽沉积工艺一般要求每一种沉积材料以气体状态或蒸汽相输送到沉积室，在那儿，在工艺过程中冷凝到工件上。这种沉积工艺的有效操作，要求对用于该工艺过程的气体或蒸汽的压力进行精确的控制。在沉积材料的蒸汽相具有相对较低的冷凝温度(也即远低于室温)的场合，该材料的压力可用室温下工作的压力传感器来控制。然而，在一种沉积材料的气态或蒸汽相具有相对较高冷凝温度，也即室温以上的场合，为了避免冷凝，这种材料被加热并保持在它们的冷凝温度以上，于是，通常要求采用加热的传感器，用来测量这些热气和蒸汽的压力。加热压力传感器也经常被加热，以防止固体材料的升华或析出。例如，如我们熟知的，氯化氨(NH4Cl)是沉积氮化硅(Si3N4)层工艺过程的一种副产品，如果压力和温度下降得过低，则NH4Cl会升华，从而一种固体盐会在任何暴露的冷却表面上形成。为了防止这种NH4Cl的升华，这些工艺过程经常采本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：罗伯特·C·潘多夫，阿奇博尔德·J·德蒙，弗兰克·W·托马斯，史蒂文·D·布兰肯希普，
申请(专利权)人：MKS仪器公司，
类型：发明
国别省市：