下载改进的加热压力传感器总成的技术资料

文档序号:2559963

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一种压力传感器总成,包括:    (A)一个限定一内腔的封闭件;    (B)一个压力传感元件,它设置于所述内腔的一部分中,并包括一接纳气体或蒸汽的输入口,用于在该输入口处检测该气体或蒸汽的压力,该压力作为一参数值的函数,该参数值按该输入口...
该专利属于MKS仪器公司所有,仅供学习研究参考,未经过MKS仪器公司授权不得商用。

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