一种扩散炉清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种扩散炉清洗装置，包括槽体本体，槽体本体上设有2个单独的同级清洗槽，槽体本体内部安装有旋转电机，所述旋转电机外接齿轮连接2根旋转轴，旋转轴上装有滚轮，滚轮上装有2根软质皮带，处理管道时与管道接触，在靠近旋转电机侧，两根旋转轴的中间位置设有一根进水管，进水管由机台底部引出，电磁阀控制进水开关，进水管口接PP材质软管，槽体本体尾端设有排液口，本实用新型专利技术保护了炉管的高温涂层，延长了炉管的使用寿命；降低了了炉管清洗工序的成本，单次化学试剂消耗量降低50％。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉清洗装置
本技术涉及扩散炉清洗
，具体为一种扩散炉清洗装置。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将元素磷、硼扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。最新的低压磷扩散利用低压氛围可以得到更好的方块电阻均匀性和更大的生产批量，同时对环境的影响最小。氧化工艺是使硅片表面在高温下与氧化剂发生反应，生长一层二氧化硅膜。氧化方法有干氧和湿氧，湿氧包括水汽氧化和氢氧合成两种。现有的扩散炉管清洗装置为整体浸泡式，在槽体滚轮上放置炉管，加药液没过炉管，开启旋转滚轮，转动炉管，待管壁干净后排尽槽内酸性溶液，开启水阀冲水，继续转动炉管；6、待水质达到13MΩ时，排尽槽内水，炉管晾干待装。该设备存在如下缺陷：浸泡式酸处理浪费化剂和水，并且会损伤炉管表面耐高温层，缩短炉管寿命。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种扩散炉清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种扩散炉清洗装置，包括槽体本体，所述槽体本体上设有2个单独的同级清洗槽，所述槽体本体内部安装有旋转电机，所述旋转电机外接齿轮连接2根旋转轴，所述旋转轴上装有滚轮，所述滚轮上装有2根软质皮带，处理管道时与管道接触，在靠近旋转电机侧，两根旋转轴的中间位置设有一根进水管，所述进水管由机台底部引出，电磁阀控制进水开关，所述进水管口接PP材质软管，所述槽体本体尾端设有排液口。优选的，所述排液口设有网罩，所述网罩包括框体，所述框体内侧安装有滤网，所述框体采用环形结构，所述滤网采用石墨烯材料制成。优选的，所述软质皮带采用耐酸尼龙材料制成。优选的，所述旋转电机采用伺服电机。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术保护了炉管的高温涂层，延长了炉管的使用寿命；降低了了炉管清洗工序的成本，单次化学试剂消耗量降低50％。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术网罩结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种扩散炉清洗装置，包括槽体本体1，所述槽体本体1上设有2个单独的同级清洗槽，所述槽体本体1内部安装有旋转电机2，旋转电机2采用伺服电机；所述旋转电机2外接齿轮连接2根旋转轴3，所述旋转轴3上装有滚轮4，所述滚轮4上装有2根软质皮带，软质皮带采用耐酸尼龙材料制成；处理管道时与管道接触，在靠近旋转电机2侧，两根旋转轴的中间位置设有一根进水管5，所述进水管5由机台底部引出，电磁阀控制进水开关，所述进水管口接PP材质软管，所述槽体本体1尾端设有排液口6。本技术中，排液口6设有网罩7，所述网罩7包括框体8，所述框体8内侧安装有滤网9，所述框体8采用环形结构，所述滤网9采用石墨烯材料制成。该网罩能够有效的过滤水中的杂质。本技术在原有的基础上增加一根注水管，由整体清洗改为炉管内部单独清洗；药液和水只需没过炉管中线，由旋转电机带动炉管，旋转清洗。综上所述，本技术保护了炉管的高温涂层，延长了炉管的使用寿命；降低了了炉管清洗工序的成本，单次化学试剂消耗量降低50％。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散炉清洗装置，包括槽体本体(1)，其特征在于：所述槽体本体(1)上设有2个单独的同级清洗槽，所述槽体本体(1)内部安装有旋转电机(2)，所述旋转电机(2)外接齿轮连接2根旋转轴(3)，所述旋转轴(3)上装有滚轮(4)，所述滚轮(4)上装有2根软质皮带，处理管道时与管道接触，在靠近旋转电机(2)侧，两根旋转轴的中间位置设有一根进水管(5)，所述进水管(5)由机台底部引出，电磁阀控制进水开关，所述进水管口接PP材质软管，所述槽体本体(1)尾端设有排液口(6)。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉清洗装置，包括槽体本体(1)，其特征在于：所述槽体本体(1)上设有2个单独的同级清洗槽，所述槽体本体(1)内部安装有旋转电机(2)，所述旋转电机(2)外接齿轮连接2根旋转轴(3)，所述旋转轴(3)上装有滚轮(4)，所述滚轮(4)上装有2根软质皮带，处理管道时与管道接触，在靠近旋转电机(2)侧，两根旋转轴的中间位置设有一根进水管(5)，所述进水管(5)由机台底部引出，电磁阀控制进水开关，所述进水管口接PP材质软管，所述槽体本体(1)尾端设有排液口(6)...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔文荣，
申请(专利权)人：江苏晟驰微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32