【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种非制冷红外图像传感器芯片，包括一传感器基片，在所述传感器基片上集成若干个红外敏感像素单元阵列，其特征在于，每个红外敏感像素单元包括一组弹性悬挂梁和一红外敏感谐振体，所述弹性悬挂梁通过锚点固定在传感器基片上，红外敏感谐振体与上述弹性悬挂梁相连，所述红外敏感谐振体包括一谐振膜片和一激振电极，在所述谐振膜片上局部设置一与谐振膜片的热膨胀系数不同的材料层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张霞，张大成，
申请(专利权)人：中国传媒大学，北京大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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