柔性显示面板、柔性显示面板制备方法以及柔性显示器技术

本申请涉及一种柔性显示面板、柔性显示面板制备方法以及柔性显示器；所述柔性显示面板包括刻蚀阻挡层，刻蚀阻挡层设置在柔性显示面板的层间介电层与平坦化层之间；处于柔性显示面板的显示区域内的刻蚀阻挡层开设有通孔；通孔用于与柔性显示面板的接触孔连通，并使柔性显示面板的源漏金属层穿过，通过在柔性显示面板的层间介电层与平坦化层之间设置刻蚀阻挡层，利用刻蚀阻挡层的刻蚀阻挡作用保证在光罩工艺下制成的接触孔的深度和宽度均匀，从而提高柔性显示面板的性能。

【技术实现步骤摘要】
柔性显示面板、柔性显示面板制备方法以及柔性显示器
本申请涉及显示
，特别是涉及一种柔性显示面板、柔性显示面板制备方法以及柔性显示器。
技术介绍
随着显示技术的不断发展，OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)显示技术以其低功耗、高饱和度、快响应时间及宽视角等独特优势逐渐成为显示领域的主流技术，未来在车载、手机、平板、电脑及电视产品上具有广阔的应用前景，尤其是OLED显示技术中的柔性显示面板。在柔性显示面板的制造过程中，在弯折区会采用深孔(Deephole，DH)的设计，正常的工艺流程(ProcessFlow，PF)中接触孔(Contacthole，CNT)与弯折区(PadBending，PB)的深孔(Deephole，DH)是用2道光罩工艺(Photo)完成，但是为了节约制造过程中的成本，将接触孔和深孔通过1道光罩工艺完成，简称CDH(CNT&DH)制程，在CDH制程中，需要通过干刻工艺(Dryetch，DE)一次将接触孔及深孔区域刻穿，但是，如图1，层间介电层上的光刻胶厚度不均匀，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括刻蚀阻挡层；/n所述刻蚀阻挡层设置在柔性显示面板的层间介电层与平坦化层之间；处于所述柔性显示面板的显示区域内的所述刻蚀阻挡层开设有通孔；所述通孔用于与所述柔性显示面板的接触孔连通，并使所述柔性显示面板的源漏金属层穿过。/n

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括刻蚀阻挡层；
所述刻蚀阻挡层设置在柔性显示面板的层间介电层与平坦化层之间；处于所述柔性显示面板的显示区域内的所述刻蚀阻挡层开设有通孔；所述通孔用于与所述柔性显示面板的接触孔连通，并使所述柔性显示面板的源漏金属层穿过。


2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述刻蚀阻挡层的材料为以下材料的一种或任意组合：氧化铝、氧化铪和铟锡氧化物。


3.一种柔性显示面板制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供柔性基板，所述柔性基板上形成有多重阻挡层、缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极层和层间介电层；
在所述层间介电层上形成刻蚀阻挡层，并在所述刻蚀阻挡层上形成光刻胶层；
基于所述光刻胶层，采用光罩工艺在显示区域内形成穿透所述刻蚀阻挡层、所述层间介电层和所述栅极绝缘层的接触孔，在弯折区域内形成穿透所述刻蚀阻挡层、所述层间介电层、所述栅极绝缘层、所述缓冲层和所述多重阻挡层的深孔；所述接触孔一端的侧壁与所述有源层接触。


4.根据权利要求3所述的柔性显示面板制备方法，其特征在于，基于所述光刻胶层，采用光罩工艺在显示区域内形成穿透所述刻蚀阻挡层、层间介电层和所述栅极绝缘层的接触孔，在弯折区域内形成穿透所述刻蚀阻挡层、所述层间介电层、所述栅极绝缘层、所述缓冲层和所述多重阻挡层的深孔的步骤中，包括步骤：
刻蚀所述弯折区域内未被所述光刻胶层覆盖的所述刻蚀阻挡层，直至暴露所述层间介电层；
干法刻蚀暴露的所述层间介电层和所述栅极绝缘层，直至刻蚀掉部分的所述栅极绝缘层形成过渡孔；
干法刻蚀所述刻蚀阻挡层、所述层间介电层和所述栅极绝缘层，形成所述接触孔，对所述过渡孔进行扩大得到所述深孔。


5.根据权利要求3或4所述的柔性显示面板制备方法，其特征在于，在所述柔性基板上形成所述多重阻挡层、所述缓冲层、所述有源层、所述栅极绝缘层、所述栅极层和所述层间介电层的步骤包括：
在所述柔性基板上依次形成所述多重阻挡层、所述缓冲层和所述有源层；
在所述缓冲层上形成覆盖所述有源层的所述栅极绝缘层，并在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁超，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42