【技术实现步骤摘要】
一种导电膜层、导电膜层制备方法及显示装置
本申请涉及显示
,具体涉及一种导电膜层、导电膜层制备方法及显示装置。
技术介绍
面板行业中,SD是信号传输的通道,一般采用TI/Al/Ti三层架构,其中下层Ti与Poly-Si相接因为Ti的势垒比较低可以形成很好的欧姆接触。中间Al为SD主体,Al的导电性比较好,信号可以快速传输,上层Ti一方面可以起到保护主体Al的作用减少氧化,另一方面Ti可以阻止Al在加热时出现凸起导致搭接异常的问题。随着手机性能的不断提升,需求SD越来越小的阻抗,增加SD层Al的厚度是目前的主要方式。SD是三层金属在同一道制程中依次成膜形成,由于Ti/蚀刻速度慢于Al,因此SD会形成侧向蚀刻,由于光的折射在点灯时出现黑阶条纹。
技术实现思路
本申请实施例提供一种导电膜层、导电膜层制备方法及显示装置,能够避免出现黑阶条纹。本申请实施例提供一种导电膜层的制备方法,包括:提供一基板,所述基板具有相对设置的第一面和第二面;在所述第一面形成第一金属层和第二金属层,所述第一 ...
【技术保护点】
1.一种导电膜层的制备方法,其特征在于,包括:/n提供一基板,所述基板具有相对设置的第一面和第二面;/n在所述第一面形成第一金属层和第二金属层,所述第一金属层位于所述第一面,所述第二金属层位于所述第二金属层远离所述第一金属层的一面;/n在所述第二金属层远离所述基板的一面形成第三金属层,所述第三金属覆盖所述第二金属层边缘并与所述第一金属层接触。/n
【技术特征摘要】
1.一种导电膜层的制备方法,其特征在于,包括:
提供一基板,所述基板具有相对设置的第一面和第二面;
在所述第一面形成第一金属层和第二金属层,所述第一金属层位于所述第一面,所述第二金属层位于所述第二金属层远离所述第一金属层的一面;
在所述第二金属层远离所述基板的一面形成第三金属层,所述第三金属覆盖所述第二金属层边缘并与所述第一金属层接触。
2.根据权利要求1所述的导电膜层的制备方法,其特征在于,所述在所述第一面形成第一金属层和第二金属层之后,包括:
对所述第一金属层和第二金属层进行蚀刻。
3.根据权利要求2所述的导电膜层的制备方法,其特征在于,所述在所述第二金属层远离所述基板的一面形成第三金属层之后,包括:
对所述第三金属层进行蚀刻。
4.根据权利要求3所述的导电膜层的制备方法,其特征在于,所述对所述第三金属层进行蚀刻之后,包括:
在所述第三金属层远离所述基板的一侧设置遮光层,所述遮光层遮挡住所述第二金属层两...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄建龙,
申请(专利权)人:武汉华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北;42
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