晶圆对心装置制造方法及图纸

一种晶圆对心装置，包括：晶圆支撑轮组，其包括相对设置的第一晶圆支撑轮组和第二晶圆支撑轮组，和对心支架，其包括相对设置的第一对心支架和第二对心支架；所述第一对心支架和第二对心支架各自包括一对卡爪，每个卡爪包括卡爪支撑面，所述卡爪支撑面设置在所述卡爪的靠近晶圆一侧的端部上；所述卡爪进一步包括卡爪凸台，所述卡爪凸台设置在所述卡爪支撑面的远离晶圆一侧的末端上并且包括面向晶圆一侧的端面，并且所述滚轮包括滚轮轴肩支撑面，其在所述卡爪支撑面未对所述晶圆形成支撑时支撑所述晶圆，所述滚轮轴肩支撑面设置为斜坡形态，其坡度大于等于5°且小于等于20°。

【技术实现步骤摘要】
晶圆对心装置
本申请涉及一种晶圆对心装置，其包括晶圆支撑轮组和对心支架，以使晶圆在超精密加工作业中得到支撑并被保持在期望的位置。
技术介绍
在诸如研磨刷洗、抛光刷洗等引入外界化学介质的晶圆的超精密加工的后处理作业中，晶圆的夹持和驱动由两对相对设置的精密滚轮提供。在对晶圆夹持和释放的过程中，可能会存在滚轮将晶圆粘附带偏的风险，并最终会导致晶圆掉落，同时也会导致与机械手与晶圆之间的交互失稳甚至于失败。此外，用于卡合晶圆并带动晶圆水平旋转的滚轮具有形成为截锥状(圆台状)的上半部分和下半部分，并且晶圆从滚轮组件夹持中松脱同时机械手接托住晶圆的过程中，机械手向上移动晶圆与滚轮的上半部分干涉的事故风险，希望的是，晶圆在上方不存在任何阻碍的情况下，并且恰好在预先设定好的位置处，被机械手向上托移至其他位置。
技术实现思路
鉴于以上问题，本申请的目的之一在于提供一种晶圆对心装置，其至少能够在一定程度上解决现有技术中的上述问题的一部分。根据本申请的一个方面，提供了一种晶圆对心装置，其包括：晶圆支撑轮组，其包括相对设置的第一晶圆支撑轮组和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆对心装置，其特征在于，包括：/n晶圆支撑轮组，其包括相对设置的第一晶圆支撑轮组和第二晶圆支撑轮组，以通过第一晶圆支撑轮组的滚轮与第二晶圆支撑轮组的滚轮支撑晶圆；和对心支架，其包括相对设置的第一对心支架和第二对心支架，以在第一晶圆支撑轮组的滚轮和第二晶圆支撑轮组的滚轮未支撑所述晶圆时支撑所述晶圆以支撑并使晶圆对心；/n所述第一对心支架和第二对心支架各自包括一对卡爪，每个卡爪包括卡爪支撑面，所述卡爪支撑面设置在所述卡爪的靠近晶圆一侧的端部上；/n所述卡爪进一步包括卡爪凸台，所述卡爪凸台设置在所述卡爪支撑面的远离晶圆一侧的末端上并且包括面向晶圆一侧的端面，并且/n所述滚轮包括滚轮轴肩支撑...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆对心装置，其特征在于，包括：
晶圆支撑轮组，其包括相对设置的第一晶圆支撑轮组和第二晶圆支撑轮组，以通过第一晶圆支撑轮组的滚轮与第二晶圆支撑轮组的滚轮支撑晶圆；和对心支架，其包括相对设置的第一对心支架和第二对心支架，以在第一晶圆支撑轮组的滚轮和第二晶圆支撑轮组的滚轮未支撑所述晶圆时支撑所述晶圆以支撑并使晶圆对心；
所述第一对心支架和第二对心支架各自包括一对卡爪，每个卡爪包括卡爪支撑面，所述卡爪支撑面设置在所述卡爪的靠近晶圆一侧的端部上；
所述卡爪进一步包括卡爪凸台，所述卡爪凸台设置在所述卡爪支撑面的远离晶圆一侧的末端上并且包括面向晶圆一侧的端面，并且
所述滚轮包括滚轮轴肩支撑面，其在所述卡爪支撑面未对所述晶圆形成支撑时支撑所述晶圆，所述滚轮轴肩支撑面设置为斜坡形态，其坡度大于等于5°且小于等于20°。


2.根据权利要求1所述的晶圆对心装置，其特征在于，所述滚轮轴肩支撑面构造成使得其沿水平方向的长度La＞(L+S)cosθ1，其中L为所述卡爪从其起点位置平移到终点位置时的平移距离，θ1为所述晶圆与所述滚轮接触时的接触点到晶圆中心点的连线与平移方向形成的锐角夹角。


3.根据权利要求2所述的晶圆对...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵德文，刘远航，王江涛，李长坤，
申请(专利权)人：清华大学，华海清科股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11