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一种晶圆对心装置，包括：晶圆支撑轮组，其包括相对设置的第一晶圆支撑轮组和第二晶圆支撑轮组，和对心支架，其包括相对设置的第一对心支架和第二对心支架；所述第一对心支架和第二对心支架各自包括一对卡爪，每个卡爪包括卡爪支撑面，所述卡爪支撑面设置在所...
该专利属于清华大学;华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;华海清科股份有限公司授权不得商用。

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