大面积透射光栅软X射线光谱仪制造技术

一种大面积透射光栅软Ｘ射线光谱仪，包括机械构件和光学元件两大部分。机械构件包括头部衔接管的接口法兰与真空靶室窗口密接，衔接管的衔接法兰与外套筒的前衔接法兰衔接，外套筒内固定于头部衔接法兰上有装有悬挂式导轨的斜拉加强筋的支撑板。光学元件包括沿着软Ｘ射线束Ｓ前进方向上，依次有矩形光阑，分别置于导轨上五维调整架上作为反射镜的轮胎镜和无支撑大面积透射光栅。它具有结构简单、调节方便、分辨率高、光谱分辨率可达０．０５ｎｍ的优点。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种透射光栅光谱仪，特别是一种高分辨率大面积透射光栅软X射线光谱仪，该谱仪主要适用于软X射线波段内激光等离子体的发射特性的测量。软X射线透射光栅光谱仪使用灵活，调整简便，在基础物理研究和诊断中具有一定的优势，被广泛用于各类X光源的测量，这从德国马普量子光学所和日本大阪大学等单位的实验中可以看到(参阅已有技术R.Sigel,P.Pakula,S.Sakabe et al.,X-ray generation in a cavity heated by 1.3-or 0.44-μm laser light Ⅲ comparison of theexperimental results with theoretical predications for X-ray confinement.Phys.Rev.A38(11),1988:5779-5785，以及H.Nishimura,Y.Kato,H.Takabe et al.,X-rayconfinement in a gold cavity heated by 351-nm laser light.Phys.Rev.A44本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大面积透射光栅软Ｘ射线光谱仪，包括机械构件和光学元件两大部分，机械构件包括头部（１）、导轨（４）、作为外壳的外套筒（５）和调整架（９）、（１０），光学元件包括反射镜（６）、光阑（１３）、光栅（７）、接收器件（８）和显示器件（１２），其特征在于具体结构是：〈１〉机械构件的头部（１）是由一衔接管（１０２），前端带有与真空靶室窗口（１４）真空密接的接口法兰（１０１）和后端带有衔接法兰（１０３）所构成；〈２〉上述头部（１）的衔接法兰（１０３）上固定有带斜拉加强筋（３）的支 撑板（２），加强筋（３）上装有悬挂式的导轨（４），导轨（４）上置有五维调整的调整架（９）、（１０）；〈３〉头部（...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邓建，张正泉，徐至展，钟方川，覃岭，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]