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一种大面积透射光栅软Ｘ射线光谱仪，包括机械构件和光学元件两大部分。机械构件包括头部衔接管的接口法兰与真空靶室窗口密接，衔接管的衔接法兰与外套筒的前衔接法兰衔接，外套筒内固定于头部衔接法兰上有装有悬挂式导轨的斜拉加强筋的支撑板。光学元件包括沿...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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