一种加热器的保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种加热器的保护装置，包括加热器和坩埚，所述坩埚设置在所述加热器内，所述加热器上具有放置所述坩埚的加热槽，所述加热器通过加热槽对坩埚进行加热，所述加热器用于加热坩埚，所述坩埚用于盛放待加热物，还包括设置在加热器外的微波传感器和信号感应器，所述微波发生器设置在加热器外的一侧，所述微波发生器用于发出信号，所述信号感应器设置在加热器外正对微波发生器的一侧，所述信号感应器用于接收所述微波发生器发出并通过坩埚的信号。本技术方案可以及时避免坩埚内的待加热物而污染加热器或其它辅助器件，提高用于保护装置在使用过程中的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种加热器的保护装置
本技术涉及蒸镀工艺
，尤其涉及一种加热器的保护装置。
技术介绍
在OLED真空蒸镀制备过程中，会使用金属材料作为阴极，而加热金属材料一般会使用点源坩埚，点源坩埚在降温的时候由于坩埚的材质在受到温度的降低后会出现裂纹或是裂缝，严重情况下如果坩埚里面的金属溶液随着温度降低时没有凝固则会沿着坩埚裂缝流出从而污染坩埚加热设备或是辅助器件(温度传感器或者防过烧热电偶)，导致需要人工对整个加热器进行拆卸更换及安装，不仅费时也费力，而且工程量大。
技术实现思路
为此，需要提供一种加热器的保护装置，解决无法及时发现坩埚出现裂缝，造成设备污染的问题。为实现上述目的，专利技术人提供一种加热器的保护装置，包括加热器和坩埚，所述坩埚设置在所述加热器内，所述加热器上具有放置所述坩埚的加热槽，所述加热器通过加热槽对坩埚进行加热，所述加热器用于加热坩埚，所述坩埚用于盛放待加热物，还包括设置在加热器外的微波发生器和信号感应器，所述微波发生器设置在加热器外的一侧，所述微波发生器用于发出信号，所述信号感应器设置在加热器外正对微波发生器的一侧，所述信号感应器用于接收所述微波发生器发出并通过坩埚的信号。进一步地，所述加热器上设置有辅助器件。进一步地，辅助器件温度为传感器和/或防过烧热电偶。进一步地，所述温度传感器和/或所述防过烧热电偶设置在加热槽的底部。进一步地，还包括坩埚承载台，所述坩埚承载台设置在加热槽底部，所述坩埚承载台用于承载坩埚。进一步地，还包括保护机构，所述保护机构设置在所述加热器上，所述保护机构用于保护辅助器件。进一步地，所述保护机构包括转轴平台和伸缩式转轴，所述伸缩式转轴的一端设置在加热槽上，所述伸缩式转轴的另一端可转动连接所述转轴平台，所述伸缩式转轴用于转动或者升起转轴平台，所述转轴平台用于承载坩埚承载台，并带动坩埚承载台上升或旋转。进一步地，所述坩埚承载台上具有通孔，通孔的大小和数量与辅助器件的大小和数量相同，通孔位置正对辅助器件的位置。进一步地，所述微波发生器为多个，所述信号感应器为多个，多个微波发生器分别设置在加热器外的一侧，一个信号感应器分别正对一个微波发生器的方向。进一步地，所述信号感应器电连接于PLC。区别于现有技术，上述技术方案的微波发生器发出的微波信号会通过坩埚，再被信号感应器感应。如果坩埚壁出现不同程度的裂痕或是裂缝，信号感应器感应到微波信号的强度或者频率会有差异。根据不同微波信号的频率或者强度来检测坩埚完整性，即判断坩埚上是否出现裂缝或者裂纹，可以及时避免坩埚内的待加热物污染加热器或辅助器件，提高保护装置在使用过程中的安全性。附图说明图1为本实施例所述微波发生器和信号感应器的剖面结构示意图；图2为本实施例所述多个微波发生器和多个信号感应器的剖面结构示意图；图3为本实施例所述加热器的剖面结构示意图；图4为本实施例所述加热槽的结构俯视图；图5为本实施例所述坩埚承载台的剖面结构示意图；图6为本实施例所述坩埚承载台和辅助器件的剖面结构示意图；图7为本实施例所述转轴平台和转轴的结构俯视图；图8为本实施例所述具有保护机构的坩埚的剖面结构示意图。附图标记说明：1、坩埚；2、加热器；21、加热槽；3、微波发生器；4、信号感应器；5、坩埚承载台；51、通孔；6、保护机构；61、转轴；62、转轴平台；7、防过烧热电偶；8、温度传感器。具体实施方式为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。请参阅图1至图8，本实施例提供一种加热器的保护装置，包括加热器2和坩埚1，所述坩埚1设置在所述加热器2上，所述加热器2上具有放置所述坩埚1的加热槽21，所述加热器2用于加热所述坩埚1，所述坩埚1用于盛放待加热物。加热器的保护装置还包括设置在坩埚1外的微波发生器3和信号感应器4，所述微波发生器3设置在加热器2外的一侧，所述微波发生器3用于发出信号，所述信号感应器4设置在加热器2外正对微波发生器3的一侧，所述信号感应器4用于接收所述微波发生器3发出并通过所述坩埚1的信号。具体的，可以是把微波发生器3放置在坩埚1外的左侧，将信号感应器4放置在坩埚1外的右侧，微波发生器3向坩埚1和信号感应器4方向发出微波信号。当坩埚1在降温的时候，打开微波发生器3和信号感应器4，微波发生器3发出的微波信号会穿透坩埚1，再被信号感应器4感应。如果坩埚壁出现不同程度的裂痕或是裂缝，信号感应器4感应到微波信号的强度或者频率会有差异。根据不同微波信号的强度或者频率来检测坩埚1的完整性，判断坩埚1上是否出现裂缝或者裂缝，可以及时避免出现裂缝后坩埚1内的待加热物污染加热器2或其它辅助器件，也提高加热器2的保护装置在使用过程中的安全性。请参阅图2，在本实施例中，为了增大发现坩埚出现裂缝的可能性，可以设置多个所述微波发生器和多个所述信号感应器。一个所述微波发生器和一个所述信号感应器为一组，感应器接收同一组微波发生器发出的信号。所述微波发生器和所述信号感应器为多组，多组所述微波发生器和所述信号感应器中的多个微波发生器环绕坩埚而设置，多个信号感应器分别正对同一组中的微波发生器的方向。一般地，依然可以将多个微波发生器环绕坩埚并设置在加热器外的同一侧，再把信号感应器设置在加热器外相对多个微波发生器安置位置的一侧，使得多个微波发生器发出信号的方向。让多个微波发生器处于不同的方位对坩埚进行检测是否出现裂缝，使得坩埚的裂缝能够及时被工作人员发现。请参阅图3和图4，在本实施例中，加热器是起到对坩埚进行加热的装置，加热器可以为电阻加热、电子束加热、激光加热和高频感应加热等。加热器为腔体的结构，所述加热器上具有放置所述坩埚的加热槽，所述加热器通过加热槽对坩埚的各个外壁进行加热，一般地，点蒸发源的坩埚可以是一整个坩埚都放置于加热槽内，即加热槽的高度大于坩埚的高度，使得加热器可以从坩埚的侧壁、底部和顶部的各个方向对其加热。请参阅图3和图4，在本实施例中，为了检测工作环境，在所述加热槽的底部具有辅助器件，所述辅助器件可以为温度传感器8、防过烧热电偶7和位置传感器等。所述温度传感器8用于检测坩埚1或者加热器2的温度情况，方便工作人员对工作环境进行监控。在防过烧热电偶7检测到坩埚1或者加热器2的温度超过所允许的限制温度时，防过烧热电偶7会限制加热器2使其温度到达一个安全的范围。位置传感器可以用于检测坩埚1是否以正确的安放状态置于加热槽21中，避免发生倾斜等问题，或者位置传感器还可以用于检测加热槽21是否安放有坩埚1。一般地，在加热槽21底部上设置有两个防过烧热电偶7和一个温度传感器8，这些辅助器件可以让工作人员更好地对坩埚1的工作状态进行跟进。当然在某些实施例中，在加热槽底部上设置有三个防过烧热电偶和两个温度传感器，乃至更本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热器的保护装置，包括加热器和坩埚，所述坩埚设置在所述加热器内，所述加热器上具有放置所述坩埚的加热槽，所述加热器通过加热槽对坩埚进行加热，所述加热器用于加热坩埚，所述坩埚用于盛放待加热物，其特征在于，还包括设置在加热器外的微波发生器和信号感应器，所述微波发生器设置在加热器外的一侧，所述微波发生器用于发出信号，所述信号感应器设置在加热器外正对微波发生器的一侧，所述信号感应器用于接收所述微波发生器发出并通过坩埚的信号。/n

【技术特征摘要】
1.一种加热器的保护装置，包括加热器和坩埚，所述坩埚设置在所述加热器内，所述加热器上具有放置所述坩埚的加热槽，所述加热器通过加热槽对坩埚进行加热，所述加热器用于加热坩埚，所述坩埚用于盛放待加热物，其特征在于，还包括设置在加热器外的微波发生器和信号感应器，所述微波发生器设置在加热器外的一侧，所述微波发生器用于发出信号，所述信号感应器设置在加热器外正对微波发生器的一侧，所述信号感应器用于接收所述微波发生器发出并通过坩埚的信号。


2.根据权利要求1所述的一种加热器的保护装置，其特征在于，所述加热器上设置有辅助器件。


3.根据权利要求2所述的一种加热器的保护装置，其特征在于，辅助器件为温度传感器和/或防过烧热电偶。


4.根据权利要求3所述的一种加热器的保护装置，其特征在于，所述温度传感器和/或所述防过烧热电偶设置在加热槽的底部。


5.根据权利要求2所述的一种加热器的保护装置，其特征在于，还包括坩埚承载台，所述坩埚承载台设置在加热槽底部，所述坩埚承载台用于承载坩埚。

【专利技术属性】
技术研发人员：黄逸臻，孙玉俊，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35