一种微透镜阵列成像光刻装置设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种微透镜阵列成像光刻装置设备，包括装置主体，所述装置主体的后端设置有连接板，所述连接板的内部设置有滑轮，所述装置主体的前端安装有固定机构，所述装置主体的后端连接板的上方设置有把手，所述装置主体的内部设置有滑杆，所述滑杆的外部装置主体的前方设置有移动板，所述移动板的上端设置有电机箱，所述电机箱的内部设置有散热机构，所述电机箱的内部散热机构的下方连接有收集盒。本实用新型专利技术所述的一种微透镜阵列成像光刻装置设备，可以便于在装置的固定，可以便于装置的内部散热，可以防止灰尘进入到装置的内部，同时也可以收集灰尘，便于装置内部烟气的排出。

【技术实现步骤摘要】
一种微透镜阵列成像光刻装置设备
本技术涉及微透镜光刻
，特别涉及一种微透镜阵列成像光刻装置设备。
技术介绍
无掩模光刻系统通过数字微镜技术，无需制造掩模，采用DMD数字掩模，可以直接读取CAD设计数据，并在晶圆上投影出所需要的图形；现有的光刻装置设备有一些缺点，首先，光刻装置设备在使用时散热效果不好，其次，光刻装置设备在使用时不便于保护控制面板，为了解决上述问题，我们提出了这种微透镜阵列成像光刻装置设备。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种微透镜阵列成像光刻装置设备，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种微透镜阵列成像光刻装置设备，包括设备主体，所述设备主体的内部设置有光刻室，所述设备主体的内部连接有连接盒，所述设备主体的前端设置有散热孔，所述设备主体的内部散热孔的后方设置有百叶板，所述百叶板之间连接有固定块，所述设备主体的后端连接有转动轴，所述转动轴的后端连接有保护软板，所述保护软板的后端设置有二号连接块，所述二号连接块的一端设置有弹性卡头，所述设备主体的前端设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微透镜阵列成像光刻装置设备，包括设备主体（1），其特征在于：所述设备主体（1）的内部设置有光刻室（15），所述设备主体（1）的内部连接有连接盒（2），所述设备主体（1）的前端设置有散热孔（3），所述设备主体（1）的内部散热孔（3）的后方设置有百叶板（9），所述百叶板（9）之间连接有固定块（10），所述设备主体（1）的后端连接有转动轴（5），所述转动轴（5）的后端连接有保护软板（6），所述保护软板（6）的后端设置有二号连接块（12），所述二号连接块（12）的一端设置有弹性卡头（13），所述设备主体（1）的前端设置有一号连接块（11），所述一号连接块（11）的内部挖空设置有连接槽（14），...

【技术特征摘要】
1.一种微透镜阵列成像光刻装置设备，包括设备主体（1），其特征在于：所述设备主体（1）的内部设置有光刻室（15），所述设备主体（1）的内部连接有连接盒（2），所述设备主体（1）的前端设置有散热孔（3），所述设备主体（1）的内部散热孔（3）的后方设置有百叶板（9），所述百叶板（9）之间连接有固定块（10），所述设备主体（1）的后端连接有转动轴（5），所述转动轴（5）的后端连接有保护软板（6），所述保护软板（6）的后端设置有二号连接块（12），所述二号连接块（12）的一端设置有弹性卡头（13），所述设备主体（1）的前端设置有一号连接块（11），所述一号连接块（11）的内部挖空设置有连接槽（14），所述设备主体（1）的内部光刻室（15）的一侧设置有鼓风机（16），所述鼓风机（16）的一端设置有出风管（17）。


2.根据权利要求1所述的一种微透镜阵列成像光刻装置设备，其特征在于：所述光刻室（15）与设备主体（1）固定连接，所述连接盒（2）的外表面与设备主体（1）的内表面活动连接，所述散热孔（3）与设备主体（1）之间为固定连接，所述百叶板（9）与设备主体（1）之间为固定连接。


3.根据权利要求1所述的一种微透镜阵列成像光刻装置设备，其特征在于：所述设备主体（1）的一端安...

【专利技术属性】
技术研发人员：张博，路海，马伟生，党燕，刘洪涛，许长全，
申请(专利权)人：新乡市百合光电有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41