【技术实现步骤摘要】
一种无掩膜光刻用微透镜加工用快速定位工装
本技术涉及定位工装领域，特别涉及一种无掩膜光刻用微透镜加工用快速定位工装。
技术介绍
传统的光刻系统使用的是掩模版光刻技术，掩模上承载有设计的图形，通过光学曝光，把设计图形转移到晶圆上；掩模版光刻工艺要制造掩模版，安装掩模版，并对掩模版进行校准和维护，降低了生产效率，增加了生产时间和成本，无掩模光刻系统通过数字微镜技术（DLP系统），无需制造掩模，采用DMD数字掩模，可以直接读取CAD设计数据，并在晶圆上投影出所需要的图形；无掩膜光刻技术拥有高速、广范围、低价格、高分辨力、操作简单和可靠性高等特点，大大降低了生产成本，提高了生产效率，在无掩膜光刻用微透镜加工过程中，需要定位工装将镜片进行固定，以便于对镜片的边沿处进行打磨，确保镜片边沿的光滑，有利于加工的进行，而现有工装使用时存在弊端，通常设置有橡胶垫进行防护，防止镜片按压碎裂，橡胶垫长久使用后硬化或者变形，而取下更换过程较为不便，其次，对于待加工的镜片临时存放在表面上时，容易被刮花，影响品质，为此，我们提出一种无掩膜光刻用微透镜加工
【技术保护点】
1.一种无掩膜光刻用微透镜加工用快速定位工装，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）的上端外表面设置有内螺纹块（2），所述内螺纹块（2）的内侧贯穿设置有螺纹杆（3），且螺纹杆（3）与内螺纹块（2）之间为螺纹连接，所述螺纹杆（3）的两端处分别设置有连接头（4）与压头（5），所述工作台（1）的上端外表面靠近一侧边沿处设置有支撑结构（6），所述工作台（1）的前端设置有放置结构（7），其中：/n所述支撑结构（6）包括垫板（61）、连接板（62）、连接片（63）、紧固螺栓（64）、按压条（65）与软垫（66），所述垫板（61）与工作台（1）之间固定连接，所述连接板（62）从垫...
【技术特征摘要】
1.一种无掩膜光刻用微透镜加工用快速定位工装，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）的上端外表面设置有内螺纹块（2），所述内螺纹块（2）的内侧贯穿设置有螺纹杆（3），且螺纹杆（3）与内螺纹块（2）之间为螺纹连接，所述螺纹杆（3）的两端处分别设置有连接头（4）与压头（5），所述工作台（1）的上端外表面靠近一侧边沿处设置有支撑结构（6），所述工作台（1）的前端设置有放置结构（7），其中：
所述支撑结构（6）包括垫板（61）、连接板（62）、连接片（63）、紧固螺栓（64）、按压条（65）与软垫（66），所述垫板（61）与工作台（1）之间固定连接，所述连接板（62）从垫板（61）的前后两端外表面延伸出，所述连接片（63）位于连接板（62）的一侧，所述紧固螺栓（64）贯穿于连接片（63）以及连接板（62）的一侧外表面，所述按压条（65）固定设置在连接片（63）的后端，所述按压条（65）将软垫（66）按压在垫板（61）的一侧外表面上。
2.根据权利要求1所述的一种无掩膜光刻用微透镜加工用快速定位工装，其特征在于：所述连接板（62）、连接片（63）、紧固螺栓（64）与按压条（65）的数量均为两组，所述连接板（62）、连接片（63）、紧固螺栓（64）与按压条（65）于垫板（61）的前后两端外表面呈对称排布...
【专利技术属性】
技术研发人员：张博，路海，马伟生，武鹏，刘洪涛，
申请(专利权)人：新乡市百合光电有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41
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